Gebraucht AIXTRON G5 #9222132 zu verkaufen

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Hersteller
AIXTRON
Modell
G5
ID: 9222132
Weinlese: 2012
Metal Organic Chemical Deposition (MOCVD) system 2012 vintage.
AIXTRON G5 ist ein hochmodernes Abscheidewerkzeug zur Herstellung hochwertiger Dünnschichtmaterialien. Basierend auf revolutionären Verdampfungs-/Sputter- und Bildgebungstechniken können Anwender Filme mit hoher Konformität und Kontrolle der Wachstumsparameter herstellen. AIXTRON G 5 besteht aus einer hochpräzisen Reaktorkammer, die von mehreren externen Einheiten umgeben ist. Die Kammer selbst ist aus Edelstahl gefertigt, um einen Betriebsdruck von 10-4 mbar aufrechtzuerhalten. Innerhalb der Kammer befindet sich die Sputter- und Verdampfungsquelle, bestehend aus vier Zielen zum Sputtern und vier Verdampfungsbooten. Mit diesen Targets können Folien mit Dicken von wenigen Nanometern bis zu mehreren Mikrometern abgeschieden werden. Sowohl die Abscheiderate als auch die Betriebstemperatur sind einstellbar, mit Temperaturen bis 800 ° C und Abscheideraten von über 5nm/Sekunde. Das Steuerungssystem von G5 basiert auf einem intelligenten Softwarepaket, das es Anwendern ermöglicht, die Abscheidungsparameter in Echtzeit zu optimieren. Eine automatische oder manuelle Steuerung der Sputter- und Verdampfungsziele sowie Chargenprozesse ermöglichen es dem Anwender, Prozesse ohne Eingriff zu starten und zu stoppen. Das System umfasst auch eine kristallfreie Beugungsanalyseeinheit, die in der Lage ist, den Prozess in Echtzeit zu analysieren und zu steuern, um die bestmögliche Filmqualität zu erreichen. G 5 Reaktor ist mit einer Reihe von verschiedenen Kammern und in-situ Fähigkeiten, wie off-axis und in-situ Temperaturmessungen, IR-Bildgebung und Vier-Punkt-Sonde elektrische Charakterisierung ausgestattet. Diese In-situ-Funktionen bieten eine große Informationsquelle über die Filmstruktur und ermöglichen es dem Anwender, die Prozessbedingungen für eine bessere Filmqualität zu optimieren. AIXTRON G5 ist speziell für den Fab von hochwertigen dünnen Folien konzipiert. Es wurde zur Herstellung von Materialien für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet, darunter optoelektronische Bauelemente, Halbleiter, Photovoltaik und Brennstoffzellen. Das System eignet sich auch für die Erforschung und Entwicklung neuer Materialien und Prozesse. AIXTRON G 5 ist ein fortschrittliches Abscheidewerkzeug, das die Flexibilität bietet, die fortschrittliche Fertigungsprozesse erfordern. Die Kombination aus automatisierten Steuerungssystemen, fortschrittlichen In-situ-Funktionen und hoher Präzision im Betrieb machen es zu einem idealen Werkzeug für die Herstellung hochwertiger Folien.
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