Gebraucht AIXTRON G5 #9238984 zu verkaufen

AIXTRON G5 ist eine hochmoderne Depositionsanlage für Massenproduktion und Forschung. Für die Herstellung von Dünnschichtmaterialien wie feuerfesten Metallsiliziden und Halbleitern ist das System mit plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidungstechnologie ausgestattet. AIXTRON G 5 ist ein Multilevel-Cluster-Tool, das entwickelt wurde, um simultane Co-Sputter- und ALE-Abscheidungsprozesse durchzuführen. Das Gerät verfügt über eine hochpräzise Wafer-Codiereinheit, vier Sputterquellen, zwei Magnetronquellen, eine Laserquelle, hohe Flexibilität in der Kammerkonfiguration und Werkzeugsteuerungssoftware. Darüber hinaus umfasst die Maschine ein Positioniermodul für Waferbewegung und -betrieb sowie eine Linerquelle für die direkte Verarbeitung und eine DC/AC-Quelle für die sekundäre Verarbeitung. Der G5-Reaktor wurde entwickelt, um eine hervorragende Gleichmäßigkeit und Folienqualität zu gewährleisten und gleichzeitig die Verarbeitung von bis zu 6-Zoll und 8-Zoll-Wafern zu ermöglichen. G 5 verfügt über ein einzigartiges Sputter-Panel-Design, um eine präzise Ätzsteuerung und eine resultierende glatte Waferoberfläche bereitzustellen. Das einzigartige Design unterstützt auch die enge Toleranz Beschichtung für hohe Linienbreite Genauigkeit und Registrierung. AIXTRON G5-Tool bietet Flexibilität mit verschiedenen Programmierlösungen, so dass Benutzer das Asset ohne die Notwendigkeit eines separaten Computers programmieren können. Das Modell verfügt zudem über einen Prozesstemperaturmanager, der konstante Temperatur- und Materialabscheideraten für optimiertes Ätzen und Abscheiden während des gesamten Prozesses gewährleistet. Darüber hinaus ist AIXTRON G 5 für die Produktion mit hohem Durchsatz ausgelegt und bietet eine hohe Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit während des gesamten Produktionsprozesses. Der G5-Reaktor ist eine One-Stop-Lösung für alle Ätz- und Abscheidungsprozesse und bietet hervorragende Prozesskontrollmöglichkeiten. Entworfen für einen höheren Durchsatz und für die Entwicklung hochwertiger Dünnschichten, ist G 5 die ideale Wahl für fortgeschrittene Forschungs- und Produktionsanforderungen.