Gebraucht AIXTRON LYNX-iXP #293804468 zu verkaufen

AIXTRON LYNX-iXP ist ein hochmodernes Abscheidewerkzeug auf Basis der branchenführenden AIXTRON Close Coupled Showerhead (CCS) Technologie. Es hat eine einzigartige Architektur, bestehend aus Platten innerhalb der Reaktionskammer und einer an der Außenseite der Kammer angebrachten Plasmaquelle. Das Design minimiert die Gaslaufzeit und die Oberflächenreaktion an den Reaktorwänden, was zur Maximierung des Durchsatzes beiträgt. Diese Technologie ermöglicht ein gleichmäßigeres und stabileres Plasma, das die Materialabscheidungsraten erhöht. LYNX-iXP verwendet eine Vielzahl von Gaschemien und Gerätekonfigurationen, um mit den umgebenden CCS-Platten zu interagieren. Es ist in der Lage, ultra-hohen Vakuumbetrieb mit einem Basisdruck von weniger als 1.0E-7 Torr. Dadurch kann der Reaktor eine breite Palette von Materialien mit außergewöhnlicher Präzision und Genauigkeit handhaben. Der Abscheidungsprozess wird mit einem fortschrittlichen Computersystem und einer Vielzahl von einzigartigen Anwendungen über die Werkzeugschnittstelle gesteuert. Beispielsweise bietet die „SOLATE“ -Anwendung eine sehr niedrige energetische Abscheidung für die Entwicklung von epitaktischen Schichten für Halbleiterbauelemente. AIXTRON LYNX-iXP ist gut für Forschungsanwendungen geeignet und wird zur Entwicklung hochwertiger Dünnschichten für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet. Es wurde speziell für die Verarbeitung von Low-K-Dielektrika und anderen Materialien entwickelt, für die die CCS-Technologie gut geeignet ist. Dazu gehören Materialien wie Oxide, Nitride und Fluoride. LYNX-iXP bietet zudem überlegene Substrattemperaturen mit einer maximalen Temperatur von über 500 ° C. Dies ermöglicht die Abscheidung von hochwertigen Materialien wie diamantähnlichem Kohlenstoff, was sich auf AIXTRON LYNX-iXP als erfolgreich erwiesen hat. Die Heiz- und Kühlsysteme sind in die Kammerkonstruktion integriert, um einheitliche und wiederholbare Anforderungen zu erfüllen. LYNX-iXP ist in der Lage, qualitativ hochwertige Abscheidungsergebnisse mit einer breiten Palette von Materialien und Anwendungen zur Verfügung zu stellen. Die hochoptimierte Gasdynamik und die große Auswahl an Regelparametern bieten eine vielseitige, robuste Lösung für Abscheideprozesse. Mit der AIXTRON CCS-Technologie kann AIXTRON LYNX-iXP beispiellose Präzision und Gleichmäßigkeit bei der Dünnschichtabscheidung erreichen.