Gebraucht AIXTRON R6 #9215060 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9215060
Weinlese: 2014
MOCVD System
31"x 4"
Gas lines:
(2) NH3
SiH4
SMC:
(3) SMC Baths (Small)
(2) SMC Baths (Middle)
SMC Bath (Lager)
(2) EPISON4 Installed (TMIn-1 &TMIn-2)
MO Lines:
(2)TMG
DARK
(3) Cp2Mg
(2) Indium
TEG
MO Materials:
TMG
DARK
Mg
In
TEG
SiH4
NH3
Measure reflectance & temperature: Epi 3TT, EpiCurve_TT, Argus
Process pump: AD600H
WKL230 Chiller included
HORIBA STEC
Gas: GaN
2014 vintage.
AIXTRON R6 ist ein Monozonbogenreaktor, der von AIXTRON, einem führenden deutschen Hersteller von Abscheidesystemen, entwickelt wurde. Dieser Reaktor wurde für die Abscheidung organischer Dünnschichten und Niedertemperatur-CVD-Anwendungen entwickelt. Es verfügt über eine Abscheidekammer mit einem Arbeitsvolumen von 500mm x 400mm, eine runde Innenwandkonstruktion, eine Einzonenbogenplasmaquelle und bis zu 200W Leistung für Dual-Zone-Anwendungen. Es hat einen hohen Temperaturbereich von 20-480 ° C bei einer Backtemperatur bis 600 ° C. Dieser Reaktor bietet eine Vielzahl von Vorteilen für die Abscheidung von Hochleistungsdielektrikum- und organischen Halbleiterfilmen. Das große Arbeitsvolumen kann bis zu zwei Substrate verschiedener Formen und Größen aufnehmen. Es verwendet ein Dual-Zone-Setup, um ein effizientes thermisches Management während der Abscheidungsprozesse zu gewährleisten. Dadurch wird ein Wärmeaufbau in der Reaktorkammer verhindert und eine hohe Gleichmäßigkeit der Abscheidung gewährleistet. Weiterhin erzeugt die oberhalb der Probe befindliche Ein-Zonen-Lichtbogen-Plasmaquelle ein gleichmäßiges Plasmafeld mit hoher Dichte. Dies hilft, große Filmdicken bei relativ hohen Abscheideraten zu erreichen. Darüber hinaus ist R6 einfach zu bedienen und zu warten. Es ist mit fortschrittlichen Diagnosen und visuellen Indikatoren ausgestattet, die es Anwendern ermöglichen, den Plasma- und Abscheidungsprozess einfach zu überwachen. Darüber hinaus ist der Reaktor modular aufgebaut, was den Wechsel und die Wartung des Abscheidesystems erleichtert. Es ist auch mit Sicherheitsfunktionen wie Überspannungsschutz und Lichtbogenerkennung ausgestattet. Aufgrund seiner fortschrittlichen Eigenschaften ist AIXTRON R6 ideal für die Abscheidung von OLEDs, organischen Dünnschichttransistoren, Sensoren, Displays und anderen organischen Dünnschichtbauelementen. Es wurde erfolgreich für die Herstellung von kommerziellen Geräten eingesetzt und wurde auch in Projekten eingesetzt, die die Korrosionseigenschaften und die Struktur von organischen Folien untersuchen.
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