Gebraucht AIXTRON Tricent #9222204 zu verkaufen

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AIXTRON Tricent
Verkauft
Hersteller
AIXTRON
Modell
Tricent
ID: 9222204
CVD System.
AIXTRON Tricent ist ein hochmoderner Abscheidereaktor, der für eine hohe Volumenabscheidung in der heutigen Halbleiterindustrie ausgelegt ist. Um Kosten und Zeit zu reduzieren, verwendet Tricent ein einheitliches vertikales System, um Abscheide- und thermische Prozesse auf effiziente Weise zu liefern. Die innere Struktur von AIXTRON Tricent besteht aus einem Quarzrohr, das als Reaktorkammer fungiert, und mehreren Gaseinlässen. Das Quarzrohr weist ein Zentralheizelement auf, das zum weiteren Schutz von einem Isoliermaterial umgeben ist. Zusätzlich gibt es einen fortschrittlichen Temperaturregler, der verwendet wird, um die Temperatur genau zu steuern und die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Um genaue Temperaturen zu gewährleisten, wird ein Monitor installiert, der Echtzeit-Feedback und Kontrolle bietet. Ein wesentliches Merkmal von Tricent ist seine Fähigkeit, sowohl hochreaktive als auch empfindliche Materialien zu handhaben. Mit zwei getrennten Bearbeitungsköpfen - dem Precise Modulated Source (PMS) Kopf und dem Heavy Duty Source (HDS) Kopf - ist AIXTRON Tricent in der Lage, verschiedene Prozesschemien zu handhaben. Der PMS-Kopf ist für die Arbeit mit empfindlichen und reaktiven Materialien wie Nitriden, Oxiden und Polysilizium ausgelegt, während der HDS-Kopf für die schwerere Abscheidung wie Metalle, Legierungen und Polymere verwendet wird. Tricent ist mit einer hochpräzisen Plasmaquelle ausgestattet, die eine vollständige Kontrolle der Plasmaumgebung ermöglicht. Plasmaquellenparameter wie Druck, Fluss und Leistung können manipuliert werden, um kundenspezifische Prozesse zu erzeugen, die für bestimmte Anwendungen optimiert sind. Darüber hinaus steht eine strukturierte Waferbearbeitung zur Verfügung, mit der AIXTRON Tricent sehr präzise und gleichmäßige Ablagerungen durchführen kann. Schließlich ist Tricent mit einem 6-Achs-Roboter-Wafer-Handling-System für überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit ausgestattet. Dieser Roboter kann große Chargen von Wafern handhaben, was schnellere Bearbeitungszeiten und höhere Erträge ermöglicht. Insgesamt ist AIXTRON Tricent ein hochentwickelter Abscheidungsreaktor, der für maximale Produktivität und Genauigkeit in den anspruchsvollsten Industrieumgebungen entwickelt wurde. Mit fortschrittlichen Tools und Technologien wird Tricent sicher zu einer bevorzugten Wahl für die fortschrittliche Materialverarbeitung.
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