Gebraucht AIXTRON TS 19x2" FT #9135813 zu verkaufen

AIXTRON TS 19x2 "FT ist eine hochmoderne Multireaktorkammerausrüstung auf Basis von fluoriertem Thiophen, die für komplexe Dünnschichtherstellungsverfahren mit hoher Ausbeute ausgelegt ist. Dieses System wird von AIXTRON advanced modulated electron cyclotron resonance (ECR) source technology angetrieben, die eine effiziente Schichtabscheidung bei hohen Temperaturen ermöglicht. Diese Art von Reaktor verwendet eine Kombination aus ECR-Mikrowelle produziert Plasma und thermische Verarbeitung für ein effizientes Schichtwachstum. Der Reaktor verfügt über eine 20 "breite Vakuumkammer und bietet Verarbeitungsmöglichkeiten bis 2900 ° C. Dieser Reaktor ist mit einer in situ Gasreinigungs- und Analysekomponente ausgestattet, um einen stabilen und wiederholbaren Prozess zu gewährleisten. TS 19x2 "FT verwendet eine Vakuumpumpeinheit, die einen Prozessdruck von 1x10-7 Torr bis 1x10-10 Torr aufrechterhalten kann. Es ist in der Lage, unter einer breiten Palette von Gasarten zu arbeiten, entweder als Teil eines Vorspülprozesses oder als Teil eines kontinuierlichen Durchflusses. AIXTRON TS 19x2 "FT bietet eine effiziente Substratheizung und eine breite Palette von einheitlichen Schichtabscheidungsfähigkeiten. Substrate können bis zu 600 ° C erwärmt werden, um ein effizientes Wachstum zu gewährleisten. Der Reaktor bietet auch einen robusten Quellverbesserungsfaktor (SIF) von bis zu 100, was bedeutet, dass er eine extrem gleichmäßige Abscheidung von Schichten auf Substraten ermöglicht. Darüber hinaus kann diese Maschine im Rezirkulationsgasbetrieb arbeiten, was eine verbesserte Prozesssteuerung und Kosteneffizienz ermöglicht. TS 19x2 "FT eignet sich für eine breite Palette von Dünnschichtherstellungsverfahren, einschließlich derjenigen, die bei der Herstellung von Optoelektronik, Halbleitern und Photovoltaik-Bauelementen verwendet werden. Dank seiner zuverlässigen und wiederholbaren Funktionen ist es die perfekte Wahl für anspruchsvolle Fertigungsanwendungen. Auch der Stromverbrauch und die Betriebskosten werden durch die fortschrittliche ECR-Quelltechnologie minimiert. Das Tool kann auch in AIXTRON erweiterte Prozessüberwachungssoftware integriert werden, die eine vollständige Prozessüberwachung und -steuerung ermöglicht. AIXTRON TS 19x2 "FT ist eine ideale Wahl für Forschungs- und Industrieanwendungen.