Gebraucht AIXTRON TS CCSH31x2" #9386612 zu verkaufen
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AIXTRON TS CCSH31x2 ist ein hochtemperatur-, chemisch bedampfter (CVD) Reaktor, der für das Wachstum von dünnen Schichten mit hoher Ausbeute ausgelegt ist. Angetrieben von der von AIXTRON patentierten konzentrischen Spaltkammer (CSC) -Technologie bietet der Reaktor einen neuartigen und robusten Ansatz für CVD-Prozesse für eine Vielzahl von Branchen. Die TS- CCSH31x2 ist eine horizontal ausgebildete Einwafer-Atmosphärendruck-Reaktorkammer, die in der Lage ist, Filme mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit, hohen Abscheideraten und überlegener Granularitätsregelung herzustellen. Das CSC-Design ermöglicht eine präzise Modulation der Vorläuferkonzentrationen und ermöglicht die Bildung von hochwertigeren Folien im Vergleich zu herkömmlicheren Ansätzen. Die Kammer des Reaktors besteht aus einer oberen und unteren Teilkammer, die durch eine Prallwand getrennt sind. Die obere Kammer hält das zu verarbeitende Material auf Zink-Selenid-Basis, während die untere Kammer den beheizten Heizblock auf Siliciumcarbid-Basis aufnimmt. Die Prallmontage hält die gewünschte Temperatur und hilft, Prozessvorläufer in der unteren Kammer zu halten, wodurch ein höherwertiges Wachstum gewährleistet ist. Das TS- CCSH31x2 ist mit fortschrittlichen CSC-Funktionen ausgestattet, die es Anwendern ermöglichen, den Durchfluss und die Temperatur von Prozessvorläufern genau zu steuern. Ein sekundäres Gasfördersystem hilft, die Menge an Aktivgas zu reduzieren, die Energieeffizienz zu verbessern und gleichzeitig die gewünschten Prozessparameter beizubehalten. Darüber hinaus bietet das CSC-System Abkühlzeiten von bis zu 60 Minuten, was kürzere Laufzeiten bei geringerem Verschleiß der Geräte ermöglicht. Das einzigartige Design von AIXTRON TS CCSH31x2 bietet eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für die CVD-Dünnschichtabscheidung, mit der Anwender überlegene Dünnschichten für eine Vielzahl von Branchen herstellen können. Ausgestattet mit ausgeklügelten CSC-Merkmalen kann der Reaktor über längere Zeiträume gewünschte Temperaturen und Durchflussraten aufrechterhalten. Darüber hinaus optimieren weitere Funktionen wie das Sekundärgasfördersystem und Abkühlzeiten von bis zu 60 Minuten den Prozess weiter und sorgen für qualitativ hochwertigere Ergebnisse.
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