Gebraucht AIXTRON TS OCSH 30X2 #9181587 zu verkaufen

AIXTRON TSCOH 30X2 ist eine All-in-One-Anlage zur chemischen Bedampfung, die in der Lage ist, eine breite Palette von funktionellen Materialien abzuscheiden, einschließlich organischer Verbindungen, Nitride, Oxide und Legierungen. Es wurde entwickelt, um sowohl hohe Prozessflexibilität als auch ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Kontrolle zu bieten. AIXTRON TSCOH 30X2 ist mit zwei unterschiedlichen Prozesskammern ausgestattet, die jeweils mit einem speziellen Satz von Komponenten ausgestattet sind. Die erste Kammer bietet Epitaxie mit reduziertem Druck (RPE) und CVD (Chemical Vapor Deposition) Fähigkeiten mit Kammerdrücken von 0,005 bis 20 Torr. Diese Kammer weist eine obere Heizstufe mit einer Suszeptor-Heizung auf, während die untere Heizstufe aus einer Medienheizung und einem Kolben besteht. Die Bewegung der oberen und unteren Stufe kann unabhängig bis zu 200 mm/s gesteuert werden. Die zweite Kammer von AIXTRON TSCOH 30X2 ist eine höhere Temperatur Bearbeitungskammer für Feststoff-Quelle MBE-Prozesse ausgelegt. Diese Kammer weist eine obere beheizte Stufe mit einer Hafniumbandheizung und eine Heißdipolanordnung als unteres Stufenbauteil auf. Diese Kammer kann Prozessdrücke im Bereich von 0,001 bis 50 Torr aufnehmen. Um die Schichtgleichförmigkeit zu maximieren und eine genaue und präzise Kontrolle über Prozesse zu gewährleisten, umfasst AIXTRON TSCOH 30X2 Druckregelung, Temperaturregelung und Massenstromregler. Das System ist in der Lage, einen schnellen Temperaturzyklus für konsistente Leistung und eine leistungsstarke computergestützte Prozessanalyse bereitzustellen. Darüber hinaus ermöglicht die Einheit die Fernsteuerung von Materialabscheidungsprozessen und die Mehrzonensteuerung der Prozesskammer zur präzisen Temperaturregelung. Sicherheit und Qualitätssicherung sind wichtige Merkmale von AIXTRON TSCOH 30X2, da die Maschine über ein voll integriertes Sicherheitsverriegelungswerkzeug sowie eine integrierte Gaslecksuche verfügt (N2O-Überwachung. Der vollautomatische Betrieb des Modells trägt dazu bei, eine hohe Prozessverfügbarkeit und konsistente Prozesserträge zu gewährleisten. Zusammenfassend ist AIXTRON TSCOH 30X2 eine All-in-One-Polymer- und Halbleiterabscheidungslösung, die auf maximale Flexibilität und präzise Steuerung ausgelegt ist. Es ist in der Lage, eine breite Palette von funktionalen Materialien abzuscheiden und ermöglicht eine fortschrittliche Parameterkontrolle für genaue und zuverlässige Ergebnisse.