Gebraucht AIXTRON TS #9363430 zu verkaufen

AIXTRON TS ist eine hochmoderne kommerzielle CVD-Reaktoranlage zur Abscheidung von dünnen Filmen. Es wird von der AIXTRON GmbH entwickelt und zur Abscheidung von dünnen Halbleiterfilmen verwendet. TS ist ein modulares System, das nach Kundenwunsch angepasst werden kann. Es wird hauptsächlich zur Abscheidung von dielektrischen, Halbleiter- oder metallischen Materialien auf Substraten verwendet. AIXTRON TS Reaktor bietet eine Reihe von Vorteilen: Es bietet eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit der Schichtdicken; es ist einfach zu bedienen und einfach für verschiedene Kammerkonfigurationen anzupassen; ist mit einer optionalen Niedertemperatur-Prozesskammer erhältlich. TS kann auch mit Neuzugängen wie Automatisierungskomponenten usw. aufgerüstet und nachgerüstet werden. Das Herzstück von AIXTRON TS ist sein eigenes Showerhead-Design. Diese Konstruktion gewährleistet eine gleichmäßige, hohe Abscheiderate und reproduzierbare Prozesse. Der Duschkopf kann auf unterschiedliche Quelldrücke eingestellt und das Ausgangsmaterial nach Kundenwunsch ausgewählt, modifiziert und neu kalibriert werden. Dieser Duschkopf ermöglicht eine gute Gleichmäßigkeit in der Strömung des Gases und sorgt auch für Gleichmäßigkeit in Bezug auf Temperaturen, Hintergrunddruck und Kammertemperatur und ermöglicht konsistente, stabile Prozesse. TS ist mit einem Prozesscomputer ausgestattet, der zur Feinabstimmung der Prozessparameter einschließlich Substrattemperatur, Kammerdruck und Quellgaseingang verwendet werden kann. Dieser Prozesscomputer enthält dedizierte Prozesssoftware, die dem Benutzer hilft, die Prozessparameter anzupassen und anzupassen. Die Prozesssoftware enthält auch eine automatische Kalibrierungsfunktion, die eine automatische Korrektur von Prozessdrifts und -quellen ermöglicht. AIXTRON TS verfügt auch über hervorragende Sicherheitsmerkmale: Ein Gasnotabschaltgerät mit Überdruckschutz ist installiert, um versehentliche Beschädigungen der dünnen Folien zu vermeiden. Eine zusätzliche Alarmmaschine gibt im Notfall eine akustische Warnung aus. Zusammenfassend ist TS ein modulares, zuverlässiges und anpassbares CVD-Reaktorwerkzeug, das für die Abscheidung von dünnen Filmen entwickelt wurde. Seine Eigenschaften und High-End-Prozesskomponenten machen es zu einem hervorragenden Werkzeug für verschiedene CVD-Prozesse.