Gebraucht AIXTRON VP 2400HW #9234069 zu verkaufen

AIXTRON VP 2400HW ist ein Hochvakuum-Bedampfungsreaktor (PVD) für die Halbleiterforschung und -entwicklung und -produktion. Es ist mit einem einzigartigen sechseckigen Kammerdesign ausgestattet, das die nutzbare Gesamtkapazität maximiert und einen schnellen Austausch von Substraten und Wafern ohne zusätzliche Last-/Entladeschritte ermöglicht. Der All-Wolfram-Heizschild schützt die Kammerwände und sorgt dafür, dass sie für eine gleichmäßige Filmabscheidung gleichmäßig erhitzt werden. AIXTRON VP 2400 HW wurde entwickelt, um branchenführende Best Practices zu befolgen, um eine stabile und zuverlässige Vakuumumgebung zu gewährleisten. Seine Temperaturregeleinrichtung ist in ein Einkammersystem integriert, das eine gleichmäßige Abscheidung über viele Wafer sowie eine optimierte Abscheidegleichmäßigkeit über einzelne Wafer hinweg ermöglicht. VP 2400HW verfügt über einen patentierten rotierenden Heizblock und mehrere Prozesskammern, einschließlich einer Hauptprozesskammer, einer Hauptvorlaufkammer und einer Hauptnachlaufkammer. Die Hauptprozesskammer verfügt über eine zentrale Wolframrohrheizung, eine ringförmige Elektronenzyklotronresonanz (ECR) HF-Quelle für die Ionisation von Prozessgasen und Kathodennetzteile für die Platzierung von Zielmaterialien. Zur Abgabe von Quellmaterial in die Prozesskammer können mehrere Quarztiegel und isolierte Schieber verwendet werden. Darüber hinaus ist VP 2400 HW mit einer zusätzlichen HF-Quelle ausgestattet, die für den Elektronenbeschuss von Proben verwendet werden kann. Die gesamte Einheit ist mit fortschrittlicher Prozesssoftware ausgestattet, die eine automatisierte Steuerung der Prozesstemperatur und anderer Parameter ermöglicht. AIXTRON VP 2400HW Prozesssoftware unterstützt Prozesse wie Sputtern, LPCVD, MOCVD, ALD und ECR Oxidationsüberwachung. Es bietet Prozessendpunktüberwachung, Echtzeitanalyse und Datenprotokollierung. Darüber hinaus hat AIXTRON VP 2400 HW die Fähigkeit, mehrere Substrate und Materialien zu verwenden, mit einer Vielzahl von Wafergrößen und -formen von 2 bis 8 Zoll Durchmesser. VP 2400HW verfügt auch über zahlreiche Funktionen für einfache Bedienung. Umfassende und integrierte Sicherheitssysteme sind integriert, mit automatischen Abschalt- und Notfallalarmen und -steuerungen. Der Reaktor ist wartungsfrei, mit einfachem Zugang für Reparatur und Wartung. Die Maschine ist auch für geringen Stromverbrauch und schnelle Operationen für eine effiziente Nutzung von Ressourcen und Zeit konzipiert. Insgesamt ist VP 2400 HW ein hochverdichteter Vakuum-Bedampfungsreaktor, der für überlegene Leistung in der fortschrittlichen Halbleiterforschung und -entwicklung und -produktion entwickelt wurde. Es ist mit den neuesten Technologien ausgestattet, um genaue und effiziente Prozesse und Abläufe zu gewährleisten. Es entspricht vollständig den Sicherheits- und Umweltvorschriften und hat einen geringen Stromverbrauch. Als solches ist AIXTRON VP 2400HW eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die ein hochwertiges und zuverlässiges PVD-Werkzeug suchen.