Gebraucht AIXTRON VP 2400HW #9269833 zu verkaufen

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Hersteller
AIXTRON
Modell
VP 2400HW
ID: 9269833
Wafergröße: 3"
Weinlese: 2012
SiC Reactor, 3" Type: Modular CVD system Gas handling: Electro polished (316) stainless steels tubing Reactor: Electronic mass flow and pressure controllers Heater: RF-lnduction heater 2x80 kW, 20-50 kHz Maximum reactor temperature: 1600°C MO Temperature control: Recirculating controlled temperature baths Accuracy: 0.05°C Range: -10°C to +60°C Mass flow control: Electronic mass flow controllers (HiTec) Pressure control: MKS Baratron and valves Back pressure controllers: HiTec Power consumption: 22 kVA (Max) Vacuum system: EBARA ESA70WD Dry pump Pressure sensor Throttle valve Pressure control Vacuum valve Cooling water system: Digital flaw meters with data logging Thermocouples for cooling water temperature monitoring 2012 vintage.
AIXTRON VP 2400HW ist ein Reaktor, der speziell für die Herstellung von Verbund- und metallorganischen Halbleitermaterialien entwickelt wurde. Es basiert auf einem horizontalen Suszeptor-Design und ist in der Lage, 2 „bis 8“ Wafer zu verarbeiten. Die Reaktorumgebung wird durch eine Computersteuerung mit geschlossenem Regelkreis gesteuert, was die Überwachung, Messung und Einstellung der Parameter des Prozesses erleichtert. Der Reaktor besteht aus einer Anderson-Pumpe, einer Reaktionskammer und dem Kühlkörper. Die Anderson-Pumpe hilft, das für den Prozess erforderliche Hochvakuum zu erzeugen, während die Reaktionskammer die verdampften Quellmaterialien enthält und der Kühlkörper die Kammer kühlt. Die Kammer enthält auch drei Heizzonen: Suszeptor, Seitenwände und Boden der Kammer, die unabhängig eingestellt werden können, um die gewünschten Temperaturen genau zu erreichen. Der Reaktor arbeitet nach den Prinzipien der Gleichstrom (DC) Magnetron-Zerstäubungstechnik. Dieses Verfahren verwendet ein dynamisches elektrisches Feld, um geladene Teilchen (Ionen) in Richtung auf ein Zielmaterial zu beschleunigen. Durch die Zerstäubung dieser Zielmaterialien ist AIXTRON VP 2400 HW in der Lage, extrem starke Haftung zwischen Materialien zu erzeugen und produziert Materialfolien mit präziser Gleichmäßigkeit. Der Reaktor weist mehrere Merkmale auf, die eine präzise Steuerung der Prozessparameter gewährleisten. Das fünfstufige Zeit-Temperatur-Programm ermöglicht eine direkte Steuerung der Reaktionstemperatur und -geschwindigkeit. Diese Funktion wird mit einem computergestützten Rezept und wiederholbaren Prozess kombiniert, um die Sicherheit und Konsistenz der Arbeit zu gewährleisten. VP 2400HW ist mit einer Reihe von Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um die Anwender vor versehentlicher Exposition gegenüber den bei der Reaktion verwendeten Gefahrstoffen zu schützen. Zu den Sicherheitsmerkmalen gehören das Sicherheitsverriegelungssystem, das das System bei Notfällen abschaltet, sowie Sicherheitsverschlüsse, die ein versehentliches Öffnen der Reaktortür während des Betriebs verhindern. VP 2400 HW ist ein zuverlässiger und effizienter Reaktor zur Herstellung von Verbindungs- und metallorganischen Halbleitermaterialien. Mit seiner computergesteuerten Umgebung, einer präzisen Temperaturkontrolle und Sicherheitsmerkmalen macht es Verarbeitungsmaterialien sicher, kostengünstig und wiederholbar.
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