Gebraucht AIXTRON VP508GFR #9115997 zu verkaufen

AIXTRON VP508GFR ist ein GaN-on-Film Reaktor von AIXTRON. Es ist in der Lage, defektfreie, hocheffiziente semipolare und unpolare GaN-Schichten auf einer Vielzahl von Substraten zu erzeugen. Der Reaktor nutzt Hochfrequenz-Elektron-Cyclotron-Resonanz (ECR) -Plasma, um hochwertige GaN-Epitaxieschichten auf 4-Zoll, 6-Zoll oder 8-Zoll-InP, Si oder GaAs-Substraten anzubauen. Der Reaktor weist auch eine beheizbare Stufe auf, die Temperaturen von bis zu 1000 ° C erreichen kann und zum Anbau von Mehrschichtstrukturen sowie für Rekristallisationsmöglichkeiten verwendet werden kann. VP508GFR ist einfach zu bedienen, dank benutzerfreundlicher, softwaregesteuerter Gerätekomponenten, die die Einstellung verschiedener Prozessparameter erleichtern. Darüber hinaus automatisiert die intuitive grafische Benutzeroberfläche die Erstellung von Rezepten für alle gängigen Prozessparameter. AIXTRON VP508GFR verwendet eine vollständig angeflanschte Bearbeitungskammer, die die Prozessfähigkeit maximiert. Eine Reihe innovativer Funktionen machen den Reaktor zu einem der vielseitigsten und leistungsstärksten seiner Art auf dem Markt. Dazu gehören zwei integrierte Effusionszellen, die die Verwendung verschiedener Edelgase für verschiedene Schritte der Epitaxie ermöglichen, ein hochfrequentes elektrisches Feld, das die Abscheidegeschwindigkeit beschleunigt, und ein automatisiertes Gasströmungssystem, das eine präzise Steuerung und Gleichmäßigkeit des Prozessgases gewährleistet. VP508GFR ist mit einer Reihe von Teilsystemen zur Gaslieferung und -sicherheit ausgestattet, um einen genauen und konsistenten Betrieb zu gewährleisten. Die Gaszufuhr wird durch einen geschlossenen Massenstromregler verwaltet, während die Sicherheit sowohl Kühl- als auch Drucküberwachungssysteme umfasst, die das Gerät im Problemfall abschalten können. Der Reaktor ist in der Lage, defektfreie mehrschichtige GaN-Folien mit ausgezeichneter Kristallinität und optischen Eigenschaften sowie niedrigen Verunreinigungen zu erzeugen. Es kann verwendet werden, um hocheffiziente, unpolare und semipolare LEDs zu erstellen. AIXTRON VP508GFR ist aufgrund seiner hohen Flexibilität und Effizienz eine ideale Maschine für Forschung und Produktentwicklung.