Gebraucht AIXTRON XL #9363431 zu verkaufen
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AIXTRON XL ist ein von AIXTRON entworfener und hergestellter Hochtemperatur-metallorganischer chemischer Dampfabscheidungsreaktor (MOCVD). Es wird in Forschung und Entwicklung sowie für die Serienfertigung für dünnschichttechnische Anwendungen wie optische Fenster, LED-Komponenten und Solarzellen eingesetzt. XL verfügt über eine kundenspezifische lineare Quellenoptimierungsausrüstung (LSOS), die aus einer patentierten Drei-Zonen-Elektronenstrahl-induzierten thermischen Verarbeitung (EB-TP) -Technologie, einem Gasfördersystem und einer Prozesssteuereinheit besteht. Das LSOS bietet eine präzise Temperaturregelung über die gesamte Breite des Zielgebiets und seine patentierte Drei-Zonen-EB-TP-Technologie bietet eine hohe Gleichmäßigkeit der Temperatur über den Substratbereich des Wachstumssubstrats. Die Maschine umfasst auch eine hochpräzise Drehabscheidekammer, mit der bis zu fünf verschiedene Abscheidungen in einem Zyklus ausgeführt werden können. Dadurch können HI-VI P-Dotierung, Niedertemperatur-Dotierung und Niedertemperatur-Abscheidung innerhalb von AIXTRON XL durchgeführt werden. Seine Nassbearbeitungsfunktion ermöglicht die Automatisierung von Ätz-, Reinigungs- und Trocknungsschritten in einem einzigen Prozessschritt und seine Präzisionsmaskenausrichtungstechnologie sorgt für maximale Gleichmäßigkeit auf dem Substrat. XL besteht aus einem robusten Design, das verbesserte Sicherheit, Qualität und Zuverlässigkeit für den Einsatz in der Industrie bietet. Es beinhaltet einen integrierten Schutzratenmonitor und eine Datenbank, die alle kritischen Prozessdaten zur Qualitätssicherung überwacht und aufzeichnet. Weitere Merkmale sind ein Visualisierungstool mit Sequenzen und Prozessparametereinstellungen, die einfach über eine grafische Benutzeroberfläche überprüft werden können. AIXTRON XL ist eine ideale Wahl für die Serienfertigung von Dünnschichtmaterialien und betrachtet somit eine attraktive und kostengünstige Lösung im industriellen Umfeld. Es ist in der Lage, genaue, reproduzierbare und wiederholbare Ergebnisse zu liefern und ermöglicht auch einen schnellen Wechsel von einem Herstellungsprozess zum anderen. Das Asset verfügt auch über eine Reihe von erweiterten Prozesssteuerungsfunktionen und Geräteüberwachungsfunktionen. All diese Eigenschaften machen es zu einem sehr vielseitigen Reaktor für den Einsatz in verschiedenen Anwendungen.
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