Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-01286 #9043519 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-01286
ID: 9043519
MCA E-Chuck ESC, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-01286 Reaktor ist eine fortschrittliche und zuverlässige in-line CVD (chemische Dampfabscheidung) Prozessvorrichtung. Es ist für die Produktion von optoelektronischen Geräten wie Halbleitern, optischen Geräten, Flachbildschirmen und anderen verwandten Produkten ausgelegt. Der Reaktor verwendet eine mit Quarz ausgekleidete Reaktionskammer, die durch Hochfrequenz-Induktion erwärmt wird. Diese Kammer enthält außerdem einen Gaseinlaß, einen Abflußauslaß, einen Substrathalter und einen Waferlader/Entlader. Der Reaktor ist in der Lage, dünne Filme aus verschiedenen Materialien wie Aluminium, Titan, Kupfer, Silizium usw. auf Substraten abzuscheiden. Es kann auch Oxid, Nitrid und Wasserstoff passivierte Filme sowie Dotierstoffe wie Bor, Phosphor, Arsen und Gallium abscheiden. Der Reaktor ist in der Lage, bei Temperaturen von bis zu 1100 ° C, je nach Abscheidungsmaterial, unter Beibehaltung einer hohen Gleichmäßigkeit zu arbeiten. AMAT 0010-01286 verfügt über das Be- und Entladen von Fernwafern in einen Substrathalter sowie die Überwachung und Steuerung an Bord. Dies gewährleistet die Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Abscheideprozesses. Der Reaktor verwendet ein hochpräzises Luftdruckventil, das einen aggressiven Prozessfluss mit Pulsstromregelung mehrerer Gase ermöglicht. Hierdurch wird eine hohe Abscheidehomogenität erreicht, wobei Teilladungen bei hohen Temperaturen auf dem Zielsubstrat gehalten werden. Mit sechzehn Prozessgasen und hocheffizienten Strömungssteuerungen ist APPLIED MATERIALS 0010-01286 in der Lage, Flexibilität und weiche Produktionszyklus-Kurvenübergänge zu erreichen, was schnelle Produktionsgeschwindigkeitsänderungen ermöglicht. Seine automatisierte Touchscreen-Benutzeroberfläche ist eingerichtet, um eine schnelle Einrichtung und Wartung sowie eine einfache Bedienung und Überwachung des Reaktorbetriebs zu ermöglichen. Hohe Sicherheitsstandards werden auf 0010-01286 eingehalten, mit redundanten Sicherheitsalarmen sowie Notabschaltungen, die gefährliche Situationen verhindern. Seine hohe Leistung und Zuverlässigkeit, kombiniert mit seiner benutzerfreundlichen Oberfläche, macht es zu einer idealen Wahl für Anwendungen, die Prozesswiederholbarkeit, Einheitlichkeit und Gesamteffizienz erfordern.
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