Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293596912 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254 Reaktor ist ein universeller Ätzreaktor, der für die plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) entwickelt wurde. Es ist für den Einsatz in der mittleren bis großen Produktion konzipiert, mit einer Kammergröße von 30 „x 30“ (76,2 cm x 76,2 cm). Der Reaktor verwendet eine Kaltwandzylindrische Kammer, die aus Edelstahl und einer Graphitauskleidung besteht. Die Graphitauskleidung trägt dazu bei, die thermische Beanspruchung der Kammer durch thermische Dispergierung zu minimieren und gleichzeitig die Reparatur abgereicherter Oberflächen innerhalb der Kammer zu ermöglichen. Die Kammer umfasst auch eine pyrolytische Bornitrid (PBN) Plattform und eine Anodenhaube. Der Reaktor ist mit einer einzigen Frequenz 13,56 MHz VHF HF Stromquelle ausgestattet, mit einem Leistungsbereich von 250-500 Watt. Die Ausrüstung ist für den Einsatz in Reinraumumgebungen konzipiert und verfügt über ein vakuumgesteuertes Ansichtsfenster und E/A-Anschlüsse für die Fernkommunikation. Der Reaktor verfügt auch über Programmierbarkeit, so dass für die Voreinstellungen von Rezepten, und die Auswahl von bis zu 50-Schritt-Programme für mehr Kontrolle und Flexibilität. Die Rezeptvorgaben bieten eine Reihe von Prozessparametern, wie Gasströme, Gasgemische, Druck, HF-Leistung, Belichtungszeit, Vorspannung und Temperatur. Das System ist mit einem Überdruckmodus und Druckerhaltung ausgestattet, die dazu beiträgt, Partikelverunreinigungen zu reduzieren, indem der Benutzer die Kammer schnell evakuieren kann. Das Gerät kommt auch mit einer Temperaturregelmaschine für die PBN-Plattform, die zusätzliche Kontrolle über Abscheideraten und Konfigurationen bietet. Der Reaktor bietet eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und ist in der Lage, die Wiederholbarkeit des Verfahrensschritts von 0,5 Prozent zu erreichen. Es hat zudem eine Temperaturgleichmäßigkeit von bis zu 0,2 Prozent und ist in der Lage, aus Timeouts und Micro-Feedback eine Quarzstabilität von 0,2 Prozent/0,5 Prozent zu erzielen. Insgesamt bietet der AMAT 0010-03254 Reactor eine zuverlässige und effiziente Lösung für fortschrittliche PECVD-Anwendungen.