Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293665750 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254
ID: 293665750
Wafergröße: 8"
ESC Heater assembly, 8" MCA D SNNF MCA+, 8" WSiN.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254 ist eine Reaktorausrüstung von AMAT, Inc. für den Einsatz in einer Vielzahl von industriellen Prozessen. Es wurde speziell entwickelt, um die Produktion, Genauigkeit und Prozesssteuerung bei der Herstellung von Frontend-Halbleiterbauelementen zu verbessern. Das Reaktorsystem nutzt eine Kombination aus erhitztem und gekühltem reaktivem Plasma, um eine chemische Reaktion zu erzeugen, mit der Material präzise und präzise auf einer Oberfläche abgeschieden werden kann. Die AMAT 0010-03254 besteht aus einer Edelstahl-Reaktionskammer, einem Hochfrequenz-Magnetgenerator, einem einstufigen Hochspannungs-Kopplungstransformator, einer Hochspannungs-Plasmaquelle und einem generatorgesteuerten HF-Netzteil. Das erwärmte und gekühlte reaktive Plasma wird vom Magnetron erzeugt und vom Hochfrequenzgenerator angetrieben. Der Hochspannungs-Kopplungstransformator ist dann in der Lage, die Plasmazufuhr von Spannung und Strom an die Reaktionskammer genau zu regeln. ANGEWANDTE MATERIALIEN 0010-03254 wird von einem programmierbaren Controller gesteuert, der es Benutzern ermöglicht, die Wärme- und Reaktionsparameter anzupassen, um den Prozess an spezifische Bedürfnisse anzupassen. Die Reaktionskammer kann reaktiven Stickstoff, Sauerstoff, Wasserstoff und Chlor erzeugen, um Oberflächen vor der Abscheidung zu oxidieren und zu passivieren. Die Reaktionskammer kann auch eine hochreine Abscheidung erreichen, indem sie Zulaufgase wie Argon, Krypton, Xenon und Helium mit hoher Genauigkeit kontrolliert. 0010-03254 ist für Präzision und Steuerung mit programmierter Sicht, Druck, Wärme und Gassteuerung konzipiert, um spezialisiertes chemisch-mechanisches Polieren zu ermöglichen. Es verfügt über eine Ladekammer für den Ein- und Ausgang von Proben und Kassetten und verfügt über eine integrierte Gaszufuhr für Trocken- und Nasschemie. Die Reaktoreinheit wird von einer restaurierbaren Endstation und einem Quarz- oder Graphit-Waferboot-Träger unterstützt, der bis zu acht Wafer halten kann. Es verfügt auch über einen zusätzlichen Temperatureingang zur Steuerung anderer Wafer-Boot-Vorwärmtechniken. Zusammenfassend ist AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254 eine Multifunktionsreaktormaschine, die zur Erhöhung der Prozesssteuerung und -genauigkeit in der Halbleiterherstellung und -herstellung entwickelt wurde. Es verfügt über eine Edelstahl-Reaktionskammer, einen Hochfrequenz-Magnetgenerator, einen Hochspannungs-Kopplungstransformator, eine Hochspannungs-Plasmaquelle und eine generatorgesteuerte HF-Stromversorgung. Die programmierbare Steuerung ermöglicht es Benutzern, den Prozess an spezifische Bedürfnisse anzupassen und bietet eine Ladekammer, eine restaurierbare Endstation und eine integrierte Gaslieferung. Darüber hinaus weist sie einen zusätzlichen Temperatureintrag zur Steuerung anderer Waferboot-Vorwärmtechniken auf.
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