Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #9069114 zu verkaufen

ID: 9069114
Wafergröße: 8"
MCA E-Chuck heater, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254 oder AMAT 0010-03254 reactor ist ein Werkzeug, das hauptsächlich bei der Herstellung von Halbleiterwaferbearbeitungsanwendungen verwendet wird. APPLIED MATERIALS 0010-03254 Reaktor ist eine fortschrittliche Ausrüstung mit mehreren installierten Komponenten für ultra-hochpräzise Kammern, einschließlich UP3000 Polysilizium-Abscheidungskammer, View 5000 e-gun Erregung und der Batch Vakuumofen 9400. Dieses vielseitige System ermöglicht verschiedene Prozesse von der LPCVD- und Rapid-Thermal-Processing-Technologie bis zur Sputterabscheidung für Zwischenschichtdielektrikum. Die UP3000 Polysilizium-Abscheidekammer ist ein großflächiges Bearbeitungsgefäß, das für verschiedene Prozesse konfiguriert werden kann. Es verfügt über eine patentierte Dual-Katalysator-Gasfördereinheit, die eine genaue Kontrolle der Abscheideraten ermöglicht. Die View 5000 E-gun Erregungsmaschine ist ein leistungsstarkes, impulsgesteuertes Elektronenanregungswerkzeug, das zur Steigerung der Effizienz des Abscheidungsprozesses verwendet wird. Es hat eine maximale Leistung von 160kV und eine Impulslänge von 1 Mikrosekunde. Zusätzlich ist es mit einer Magnetstrahldüse ausgestattet, die eine präzise Steuerung des Abscheideprozesses ermöglicht. Schließlich ist der Batch-Vakuumofen 9400 eine mehrstufige Prozesskammer, die eine Vielzahl von Hochtemperaturanwendungen wie schnelles thermisches Glühen und Oxidentfernung durchführen kann. Es hat eine maximale Temperatur von 1300 ° C und ist mit Echtzeit-Temperaturprofilen mit einstellbaren Zeit- und Temperaturprofilen ausgestattet. Insgesamt ist der Reaktor 0010-03254 ein leistungsstarkes Werkzeug für die hochpräzise Halbleiterwaferverarbeitungsindustrie. Es bietet eine hochpräzise Steuerung des Abscheideprozesses sowie ein vielseitiges Anwendungsspektrum. Mit seinen verschiedenen integralen Komponenten kann es eine beispiellose Leistung und Zuverlässigkeit für eine breite Palette von Halbleiterherstellungsprozessen bieten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor