Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03840 #293659921 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03840 ist ein allgemeiner Zweckreaktor für CVD (chemische Dampfabsetzung) Verarbeitung und kann in einer Vielfalt von Halbleitergerätherstellungsanwendungen verwendet werden. Die Vakuumkammer ist aus Edelstahl gefertigt und misst 48 Zoll Durchmesser und 48 Zoll Länge. Es ist in der Lage, bei Drücken bis 400-500 mbar und Temperaturen bis 400 ° C zu arbeiten. Die innere Substratplatte misst 24 Zoll im Durchmesser und kann vier 200mm Wafer aufnehmen. Der Reaktor ist mit einer HF-Stromversorgung und UPW (ultra-reines Wasser) -Ausrüstung ausgestattet, um eine saubere, trockene Prozessumgebung zu erhalten. Das System kann mit zusätzlichen optionalen Geräten ausgestattet werden, um zusätzliche Zusatzfunktionen wie Ionisation, Plasmaätzen und Substratheizung bereitzustellen. Der CVD-Reaktor AMAT 0010-03840 verfügt über eine hohe Gleichmäßigkeit der Temperatur (< ± 3 ° C) über die Waferoberfläche und ist in der Lage, eine hohe Gleichmäßigkeit der Filmabscheidung (< ± 2%) zu erreichen. Es ist auch mit einer Notfallprozessgasabschalteinheit und einer Sicherheitsmaschinenüberwachung von Kammerdruck, Temperatur und Notdruckentlastung ausgestattet. Das Reaktordesign ist kompakt und wirtschaftlich und somit ideal für den Einsatz in Forschungs- und Prototypenanwendungen. Der HF-Stromgenerator bietet eine hohe Kontrolle und ermöglicht eine hohe Kontrolle der Abscheidungsparameter jeder Schicht. Das Tool ist hochautomatisiert und erfordert minimale Personalschulung und Zeit, um in Betrieb zu gehen. Darüber hinaus ist die Anlage extrem zuverlässig und zuverlässig bei minimalen Ausfallzeiten und Serviceanforderungen. Abschließend ist der CVD-Reaktor APPLIED MATERIALS 0010-03840 ein zuverlässiges, leistungsstarkes CVD-Modell, mit dem eine Vielzahl von Halbleiterbauelementen hergestellt werden kann. Seine kompakte, wirtschaftliche Bauweise macht es zu einer großen Wahl für Anwendungen, bei denen Kosten und Platz bedenklich sind. Die hohe Gleichmäßigkeit von Temperatur, Foliendicke und Abscheiderate sowie seine Sicherheit, Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit tragen dazu bei, dass die Ausrüstung eine ausgezeichnete Wahl für viele Anwendungen ist.