Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03843 #9269048 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843 ist ein Dampfabscheidungsreaktor, der zur Abscheidung eines dünnen Films auf einem Substrat ausgelegt ist. Der Reaktor ist in der Lage, mit Metalloxidmaterialien zu arbeiten, so dass Benutzer ein- oder mehrschichtige Abscheidung mit einer Vielzahl von Dünnschichteigenschaften gewünscht zu schaffen. Der Reaktor weist einen extrem niedrigen Abscheidekammerdruck auf und weist eine Hochfrequenzquelle zur Beheizung des Substrats auf. Der Reaktor wird auch mit Quarzwänden ausgestattet, um eine effiziente Wärmeübertragung zu ermöglichen und die Temperatur des Innenraums ziemlich konsistent zu halten. Die enthaltene Mikrowellenleistung ist mit einem patentierten „luftgekühlten“ Design einstellbar, das hilft, Energieverluste zu reduzieren. Der Reaktor ist ein neutraler Drucktyp mit vertikaler Orientierung, so dass der Benutzer auf beiden Seiten des Substrats Material abscheiden kann. Das Substrat wird in einem Low Thermal Mass (LTM) Waferhalter gehalten, der einen Water Co-Current Gas Flow (WCGF) zur effizienten Wärmeübertragung aufweist. Dieser Halter ist am Boden des Reaktors angeordnet, so daß überschüssige Materialien später leicht aufgefangen werden können. Dieses Design zusammen mit seiner einstellbaren Druckverfügbarkeit macht dies zu einem perfekten System für die Herstellung von Mehrschichtfolien für die Halbleiterherstellung. Darüber hinaus hat der Reaktor auch einige Sicherheitsmerkmale in seiner Konstruktion eingebaut. Dazu gehören zahlreiche mögliche Sensoren für flüchtige organische Verbindungen (VOC), die das Vorhandensein toxischer Dämpfe an jedem beliebigen Punkt des Reaktorbetriebs erkennen und herunterfahren können, wenn unsichere Werte festgestellt werden. Der Reaktor verfügt außerdem über einen Flammenableiter und ein Erdungssystem für eventuelle Gasbrände. Insgesamt bietet der Aufbau des Aufdampfreaktors AMAT 0010-03843 dem Anwender maximale Flexibilität bei der Abscheidung seiner Mehrschichtfolien und bietet gleichzeitig Sicherheitsmerkmale, die die Sicherheit des Anwenders gewährleisten. Mit seinem einstellbaren Druck sowie zusätzlichen Geräten zur Gewährleistung von Qualität und Präzision ist der Reaktor ein perfektes System für diejenigen, die zuverlässige und robuste Dünnschicht-Mehrschichtfolien erstellen möchten.
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