Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03843 #9269049 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03843
ID: 9269049
DCxZ Ceramic heater.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843 ist ein fortschrittlicher Abscheidungsreaktor, der entwickelt wurde, um eine hochwertige Materialabscheidung zu gewährleisten. Es ist weit verbreitet in den Bereichen der fortschrittlichen Halbleiterherstellung, fortschrittliche Verpackung und MEMS. Dieser Reaktor der nächsten Generation ist eine branchenführende Quelle für Präzisionsabscheidung für Materialien wie Polysilizium, Wolfram, Aluminium, Kohlenstoff und andere. AMAT 0010-03843 ist mit Quarzkammer, Keramikhohlraum und Quarzfenster aufgebaut. Die Quarzkammer ist hermetisch abgedichtet und ist die Hauptnabe für den Abscheidevorgang. Der keramische Hohlraum enthält eine hochenergetische Elektronenstrahlpistole und ein Hochtemperaturheizelement, um eine optimale Umgebung für den Abscheidungsprozess zu schaffen. Das Quarzfenster ist ein Vorteil für den Reaktor, da das Vorhandensein des Quarzfensters den Bedarf an komplexen Vakuumpumpen und Leitungen reduziert. Mit der hochenergetischen Elektronenstrahlpistole werden hochdichte Partikel in die Reaktorkammer eingespritzt, wodurch eine Kristallisation und die Erzeugung einer homogenen Beschichtung eines bestimmten Materials, wie eines Titannitrids oder Tantalnitrids, ermöglicht wird. Darüber hinaus hat die Elektronenstrahlpistole die Fähigkeit, eine räumliche Schalung mit einem kleinen Fleck Materialabscheidung zu erzeugen, so dass kleine bis mittelgroße Features auf einer Vielzahl von Substraten platziert werden können. Die erwärmte Zone ermöglicht eine homogene Beschichtung eines gewählten Materials mit einer besseren Dickenregelung im Vergleich zur Verwendung nur der Elektronenstrahlinjektionen. Darüberhinaus hat die APPLIED MATERIALS 0010-03843 den Vorteil eines aktiven Selbstauffrischungssystems, das bestimmte Abscheidungsparameter durchläuft, um ein Material gleichmäßig durch gleichmäßiges Akkreditieren des Materials zu verteilen. Mit dieser Eigenaktualisierung können die Reaktionsparameter auf einen statischen Modus für konsistente Beschichtungen mit gleichmäßiger Dicke eingestellt werden. 0010-03843 enthält auch eine Doppelkammer-Konstruktion mit unabhängig abgedichteten inneren und äußeren Kammern, was einen Vorteil für die Abscheidung bietet, der sowohl Temperatur- als auch Druckschwankungen erfordert. Durch die Isolierung der beheizten Kammer vom Substrat können die Bediener ihre Arbeit aufnehmen, Temperaturen und Drücke unabhängig einstellen und Zeit zwischen den Verfahrensschritten sparen. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843 ein fortschrittlicher Abscheidungsreaktor, der hohe Leistung und Zuverlässigkeit mit einer Vielzahl von Vorteilen bietet. Die Kombination aus Quarzkammer, Keramikkavität, Hochenergie-Elektronenstrahlkanone und Doppelkammerdesign ermöglichen eine zuverlässige und reproduzierbare Abscheidung von Metallen und Verbindungen auf einer Vielzahl von Substraten.
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