Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-04450 #9043624 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-04450 Reaktor ist eine turbo-molekulare Hochvakuum-Wachstumsanlage, die speziell für Ätz- und Abscheidungsprozesse in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Dieses System ist aus Edelstahl gefertigt und nutzt eine leistungsstarke UHV-Turbo-Molekularpumpe, die entweder im Vakuum oder Atmosphärendruck arbeitet. Die UHV-Pumpe wird durch einen Gaskrümmer ergänzt, der eine Auswahl von bis zu sechs verschiedenen Gasen ermöglicht. Die ausgewählten Gase - typischerweise Stickstoff, Sauerstoff und Argon - werden zur Gasversorgung und Druckregelung für alle Abscheidungs- und Ätzprozesse verwendet. Der Reaktor ist für höchste erreichbare Prozessfenster und Temperaturhomogenität ausgelegt, mit einem elektrischen Ofen von 10 ° bis 1202 ° C (50 ° bis 2196 ° F). Die Temperatur wird durch eine Kombination aus Doppelzonenheizern, einem Halogenofen und einer Inertgasminderungseinheit aufrechterhalten. Die Inertgasminderungsmaschine hilft, Oxidation an den Vakuumkammerwänden zu beseitigen und hilft, sehr niedrige Basisdruckniveaus aufrechtzuerhalten. AMAT 0010-04450 Reactor verfügt auch über ein integriertes Partikelsammel- und Filtrationswerkzeug, das die Prozessanlagen vor Partikelverunreinigungen schützt. Die Einheit kann in einem von zwei Modi betrieben werden; entweder mit einem Ablassventil oder einer Glockenglaskammer. Das Ablassventil arbeitet, indem es die Gase durch einen Filter hindurchlässt, während die Glockenglaskammer die Partikel in einer Trockenkammer sammelt, wo sie später entnommen werden können. Der Reaktor enthält auch mehrere andere Systeme, die den Ätz- und Abscheidungsprozess erleichtern. Dazu gehören eine Stromversorgung mit einstellbarem Strom, ein Gasversorgungskrümmer und eine digitale Steuerung, mit der der Bediener die Prozessparameter während einer Rezeptur präzise einstellen kann. Das Asset umfasst auch Endpunkterkennung und Emissionskontrolle, die zur Optimierung der Prozessleistung beitragen. Insgesamt ist der APPLIED MATERIALS 0010-04450 Reaktor ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug, mit dem Ätz- und Abscheideprozesse mit hoher Präzision und Genauigkeit durchgeführt werden können. Dieses Modell ist in der Lage, kostengünstig und effizient die anspruchsvollsten Halbleiterherstellungsprozesse durchzuführen und qualitativ hochwertigste Produkte zu liefern.
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