Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09010 #293658075 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09010 ist ein Reaktor bestehend aus einer zylindrischen Reaktionskammer, die typischerweise etwa 5 Fuß lang ist und einen Durchmesser von bis zu einem halben Fuß aufweisen kann. Dieser Reaktor ist für die Beladung über die Oberseite ausgelegt und auch mit einem Aufzugssystem ausgestattet, um eine einfache Beladung zu ermöglichen. Es kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 "aufnehmen. Dieser Reaktor besteht aus einem die Reaktionskammer umschließenden Körper, der mit einem Bereich von Druck, Temperatur und Gasniveau gehalten wird. Die Kammer ist gasdicht und soll Kreuzkontaminationen aus anderen Prozessschritten verhindern. Darüber hinaus kann der Reaktor mit verschiedenen Konfigurationen angepasst werden, um die Bedürfnisse des Kunden anzupassen. Über das obere Zuführrohr wird ein Substrat (oder eine Probe) in den Reaktor eingebracht und anschließend an den Boden der Bearbeitungskammer angehoben und anschließend auf die Hebebühne geladen. Eine rotierende Revolverheizung dient dann zur Erwärmung und zum Abpumpen von Prozessgasen und steuert gleichzeitig Temperatur und Druck, die von einem Regler aufrechterhalten werden. Nach der Bearbeitung des Substrats wird es an den Vakuumkrümmer abgeführt, wo Produktsammelbehälter angebracht werden können. Die Nichtvakuumkomponenten des Reaktors sind aus Edelstahl aufgebaut, während für die vakuumkompatiblen Flansche und Steckverbinder unterschiedliche Materialien verwendet werden. Die Vakuumkomponenten umfassen typischerweise einen geschweißten Edelstahlkörper mit einer Aluminiumklinge aus keramischen Einsätzen, die eine bessere Abdichtung ermöglichen und eine Verunreinigung verringern sollen. Der Reaktor verfügt auch über eine Vielzahl von Sicherheits- und Überwachungsmaßnahmen, wie Drucksensoren, Sauerstoff/brennbare Gassensoren und Kühlwassersensoren. Zusätzlich liefert der Reaktor eine hörbare und sichtbare Warnung bei Übertemperatur oder Überdrucksituation. Darüber hinaus bietet der Reaktor ein automatisiertes System, um ihn im Notfall abzuschalten. Insgesamt ist der Reaktor AMAT 0010-09010 ein zuverlässiges und robustes System, das an die Kundenanforderungen angepasst werden kann und ein komplettes Paket an Sicherheits- und Überwachungsfunktionen bietet, die die Sicherheit und Qualität der Prozessergebnisse gewährleisten.