Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09103 #293658078 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09103 Reactor ist ein automatisiertes Produktionswerkzeug zum Ätzen und Reinigen von Wafern in der Halbleiterindustrie. Gebaut mit einer Vakuum-Prozesskammer, ist das Gerät mit einem elektrostatischen Spannsystem (ESC) für gleichmäßige Platzierung und Rotation von Wafern ausgestattet. Der Reaktor weist eine vertikale Co-Planarität auf, die dafür sorgt, dass die Substrate zur überlegenen Prozessgleichförmigkeit parallel zu den Elektroden abgeschieden werden. Mit zuverlässigen Ätz- und Reinigungslösungen mit hoher Wafer-zu-Wafer-Wiederholbarkeit ist es eine ideale Wahl für die Produktionstechnik. Sein automatisierter Betrieb wird von einem voll funktionsfähigen Computer mit einer erweiterten Benutzeroberfläche gesteuert. Es ist mit präziser Prozesssteuerung, digitaler Videomaschine, Live-Krümmungsmessung und einem Kühlwerkzeug ausgestattet. Eine ionisierte Gaslieferanlage ist ebenfalls verfügbar und bietet einen stabilen, gleichmäßigen und präzisen Ätzprozess. Die automatische Be- und Entladung sorgt auch dafür, dass das Substrat während des gesamten Prozesses in der gleichen Position bleibt. AMAT 0010-09103 Reaktor ist in der Lage, eine Vielzahl von Prozessen durchzuführen, einschließlich Oxidentfernung, selektives Ätzen, Dünnschichtabscheidung, anisotropes Ätzen und tiefes Siliziumätzen mit Prozesskontrolle und verbesserter Durchsubstratgleichförmigkeit. Es ist für eine erweiterte Palette von Substraten, Substratgrößen und Umgebungsbedingungen konzipiert, mit der Fähigkeit, eine Reihe von Prozessgasversorgungssystemen zu implementieren, um ein zuverlässiges Ätzen zu gewährleisten. Das Vakuummodell ist für Hochvakuumniveau und höchste Prozessleistung konzipiert und bietet eine überlegene Temperaturregelung, Quarztemperaturüberwachung und einstellbare Ofentemperatur. Die Ausrüstung ist mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, darunter einem Not-Aus-Schalter, Verriegelungsrelais und Staubmonitoren. Es umfasst auch ein ausgeklügeltes Prozessüberwachungssystem, die Anpassung der Leistungsstufen und eine grafische Touchscreen-Benutzeroberfläche. Der Reaktor bietet hervorragende Gleichmäßigkeit und Durchsatz, so dass es eine ideale Wahl für die Produktionstechnik Industrie.