Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #293602314 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416 ist ein Mehrkomponenten-Mehrzonen-Prozessreaktor, der vor allem in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es ist für Anwendungen wie Oxidation, Nitridierung und Ätzen von dünnen Filmen konzipiert. Der Reaktor ist üblicherweise auf einem Ringständer montiert und dient zur Automatisierung der Dünnschichtstapelverarbeitung. Der Reaktor AMAT 0010-09416 besteht aus zwei Hauptteilen, der Prozesskammer und dem Flansch. Die Prozesskammer ist ein Gehäuse, das bis zu vier mehrzonige Prozesszonen enthält. Jede Zone wird mit einer Standard-2000-Watt-HF-Quelle beheizt und kann unabhängig voneinander gesteuert und auf unterschiedliche Temperaturen eingestellt werden. Der Flansch ist ein speziell ausgebildeter Flansch, der die Prozesskammer mechanisch mit dem Vakuumsystem verbindet. Die Prozesskammer ist in bis zu vier mehrzonige Prozesszonen unterteilt. Jede Zone ist durch eine verstellbare basierte Wafer-Tisch-Baugruppe getrennt und hat eine separate Hochtemperatur-Lampe oder Akku-Lampe Hochtemperatur-Quelle. Die verstellbare Basis-Wafer-Tischanordnung ermöglicht es, den Wafer durch Schrittmotoren horizontal zu bewegen und für verschiedene Prozesse in die verschiedenen Zonen abzubilden. Die Temperatur in jeder der Zonen wird unabhängig geregelt und auf Temperaturen von der Grenze von -50 ° C bis zur maximalen Grenze von + 1000 ° C mit einer Gesamtleistung von bis zu 2000 Watt eingestellt. Das Vakuumsystem des Reaktors umfasst eine Evakuierungsleitung, die mit dem Flansch verbunden ist. Es wird von einer elektronischen Motorpumpe angetrieben und liefert einen maximalen Druck von 500 mTorr. Die Abgasleitung ist ebenfalls mit dem Flansch verbunden und hat einen Druck von bis zu 1 Torr. Angewandte Materialien 0010-09416 Reaktor hat ein Gesamtgewicht von 290lbs und Abmessungen von 43.5in (H) x43.5in (W) x21.5in (L). Es ist mit einem Sicherheitsabsperrventil, einem digitalen Durchflussmesser und einem Auslassstutzen mit Sicherheitsventil ausgestattet. Es ist mit Blick auf die Sicherheit konzipiert, um sicherzustellen, dass der Reaktor unter Einhaltung der geltenden Sicherheitsvorschriften betrieben wird. Abschließend ist 0010-09416 ein Mehrkomponenten-Mehrzonenprozessreaktor, der für die Dünnschichtstapelverarbeitung in der Halbleiterindustrie ausgelegt ist. Es ist mit einem Sicherheitsabsperrventil, einem digitalen Durchflussmesser, einem Abgasanschluss und mehr ausgestattet und ist für den Betrieb gemäß den geltenden Sicherheitsvorschriften ausgelegt. Dadurch ist der Reaktor ein wirksames Werkzeug für Hochtemperaturprozessanwendungen wie Oxidation, Nitridierung und Ätzen dünner Filme.