Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #293618132 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416 ist ein Ätzreaktor, der speziell für die Abscheidung dünner Filme entwickelt wurde. Es ist ein hoher Durchsatz, große Kapazität Ätzreaktor, der für großflächige Halbleiter-Wafer-Verarbeitung verwendet wird. Dieser Reaktor kann für Dünnschichtabscheidungs-, plasmabasierte Asche- und Ätzverfahren eingesetzt werden. Es ist mit einer hochdruckverstärkten Plasmatechnologie ausgestattet, um dünne Filme mit schnelleren Zykluszeiten und verbesserter Gleichmäßigkeit abzuscheiden. Der Reaktor AMAT 0010-09416 besteht aus einer inneren Ätzkammer und einer äußeren konzentrischen Quellkammer. Die innere Kammer dient zur Aufnahme des Ätzmittels, während die äußere Kammer eine Plasmaenergiequelle enthält. Die Quellkammer ist mit sechs konzentrischen Brennern ausgestattet, die das Energieniveau und den Gasfluss einstellen können. Mit den Brennern wird der Wafer gescannt und die Abscheiderate exakt gesteuert. Die Geräte sind automatisiert, wobei Cloud-basiertes maschinelles Lernen eine präzise Kontrolle über den Ätzprozess bietet. Der Reaktor ist in der Lage, hochpräzise Ätzmuster zu erzeugen, die für fortgeschrittene Halbleiterprozesse wesentlich sind. Das System verfügt über einen integrierten Prozessmonitor, der eine detaillierte Steuerung und Datenanalyse des Ätzprozesses ermöglicht. Der Reaktor verfügt außerdem über eine spezielle Endeinheit mit Platten-/Bandspeicher, automatisiertem Transfer und optimierter Kammerreinigung. Diese Einheit hilft, den Waferdurchsatz zu maximieren und Waferschäden zu minimieren. Es ermöglicht auch präzise Messungen des geätzten Volumens, was eine genaue Ätzung gewährleistet und zu besseren Ergebnissen führt. Der Prozessmonitor zeichnet den kompletten Ätzprozess auf und ermöglicht so die weitere Prozessentwicklung und -optimierung. Die Gesamteinheit ist flexibel und wurde entwickelt, um fortschrittliche Ätzprozesse zu implementieren. Es verfügt über erweiterte Diagnosen, um Anomalien zu identifizieren und zu korrigieren, während seine eingebaute Diagnosemaschine verwendet werden kann, um Anomalien im Prozess zu identifizieren und Korrekturen vorzunehmen. Das Tool ist EPA-konform und ist auch für die Kompatibilität mit anderen Geräten von EMC zertifiziert. Es kann auch mit Automatisierungssystemen für einen schnellen, effizienten und präzisen Betrieb integriert werden. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS 0010-09416 ein hochentwickelter Ätzreaktor, der zuverlässige Leistung, genaue Ergebnisse und hohen Durchsatz bietet. Die Anlage wurde speziell für die fortschrittliche Dünnschichtabscheidung entwickelt, wodurch komplexe Kammereinstellungen entfallen und gleichzeitig eine präzise Kontrolle über den Abscheidungsprozess gewährleistet ist. Dieser Ätzreaktor ist die ideale Lösung für die großflächige Waferbearbeitung.