Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #9111980 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416 ist ein Zweikammerreaktor, der eine unübertroffene Kontrolle und Flexibilität für fortschrittliche Prozesse bietet, die in der Geräteherstellung und -forschung eingesetzt werden. Diese Kammer verfügt über eine saubere Umgebung mit enger Temperaturregelung, hochwertigen Gasquellen und zuverlässigem Langzeitbetrieb. Es wurde entwickelt, um entweder mit Produktionsprozessen oder Forschungsaufgaben zu arbeiten, die fortschrittliche Leistung und Handhabung erfordern. AMAT 0010-09416 verfügt über eine einzige Edelstahl-Kathodenkammer und eine Quarz-Oberkammer, die für Anodisierung, Reinigung, Desorption, Schüttoxidwachstum und Abscheidungen verwendet werden kann. Die Kathodenkammer weist drei induktiv gekoppelte Hochfrequenzquellen (RF) und eine Elektronenzyklotronresonanzquelle (ECR) auf. Die ECR-Quelle ist in der Lage, ein gleichmäßiges Plasma mit elektromagnetischen Feldern zu erzeugen, um Material zu erwärmen und zu ionisieren. Die drei HF-Quellen arbeiten unabhängig voneinander, um verschiedene RF-Leistungsstufen bereitzustellen, wodurch präzise und kundenspezifische Abscheidungsprofile erzielt werden können. Die HF-Quellen können auch verwendet werden, um ultraschnelle Plasmabearbeitungsbedingungen zu schaffen, was durch die obere Grenze der HF-Leistung der Kammer ermöglicht wird. Die Kammer weist ein Hochtemperaturvermögen von bis zu 1200℃ und ein Tieftemperaturvermögen von bis zu -50 ° C auf. Dieser Bereich wird durch eine Kombination aus Heizfaser und Kühlkanal innerhalb der Kammer aufrechterhalten. Auch die extrem niedrige thermische Masse der Kammer trägt zur Genauigkeit der Temperaturregelung bei. Die Kammer enthält auch ein modernes Vakuumsystem, das für Ultrahochvakuum optimiert ist und einen 5-Bar-Druckbereich aufweist. Um die Verarbeitungsleistung weiter zu optimieren, bietet APPLIED MATERIALS 0010-09416 eine Vielzahl von ausgeklügelten Gasliefermöglichkeiten. Konkret ist der Reaktor mit zwei Massenstromreglern (MFCs), fünf Gasleitungen und einem Gasleitungsüberwachungssystem ausgestattet. Die MFCs ermöglichen abstimmbare Gasflüsse und ermöglichen es Benutzern, Funktionen wie die dynamische Vorläuferlieferung zu nutzen. Die fünf Gasleitungen sind für eine Vielzahl von Gasarten und Gemischkombinationen ausgelegt. Der Gasleitungsmonitor kann verwendet werden, um die Gasprofile innerhalb der Kammer zu messen, so dass Benutzer temperaturabhängige Produktionsraten berücksichtigen können. 0010-09416 ist die ideale Lösung für Anwendungen, die höchste Prozessleistung und -kontrolle erfordern. Das umfassende Leistungsspektrum, die Flexibilität und die Fähigkeit machen es für den Einsatz in jeder Prozessentwicklung oder Produktionsumgebung geeignet.