Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416W #293644644 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416W ist ein Reaktor zur Materialsynthese und Abscheidung für Forschung und industrielle Anwendungen. Der Reaktor ist eine Hochvakuum-Spritzguss-Quarzkörperkammer zur Abscheidung von dünnen Schichten aus Halbleitermaterialien bei niedrigem Druck. Es handelt sich um eine horizontale, zylindrische Kammer mit einer zweistufigen turbomolekularen Stützpumpe und zwei seitlich angeordneten Einlaßöffnungen zur Förderung von Vorläufermaterialien. Der Druck in der Kammer wird im Betrieb zwischen 5 x 10-5 und 2 x 10-5 Torr gehalten. Der Reaktor ist mit einer einzigartigen Verschlussvorrichtung ausgestattet, die eine einfache Beladung von Wafern in die Kammer und eine Verarbeitung bei niedrigen Drücken ermöglicht. Der Verschluss verfügt auch über eingebettete Infrarot- und Ultraviolett-Sensorlinien, die der Überwachung des Prozesses gewidmet sind. Die Heizung erfolgt durch zwei unabhängig gesteuerte Widerstandselemente mit Temperaturen bis 1000 ° C und ist mit einem Gasmischermodul mit 5 Gasleitungen gekoppelt. An der Rückseite des Reaktors befindet sich auch ein elektronisches Schieberventil. Die Abscheidung wird durch einen einzigartigen Quarzträgheitsduschkopf mit einem Gesamtdruck von 1-Torr angetrieben, der Materialien senkrecht zum Substrat für verbesserte Gleichmäßigkeiten und Schrittabdeckung liefert. Für zusätzliche Flexibilität kann der Quarzduschkopf auch auf einem verstellbaren Bügel montiert werden. Im Reaktor können Einzel- oder Mehrfachsubstrate bis 200 mm Größe untergebracht werden. Die Steuerung dient der Automatisierung von Dünnschichtabscheidungsprozessen wie Sputterabscheidung, chemischer Aufdampfung und Atomschichtabscheidung. Das Gerät verfügt über computergestützte Bedienerschnittstellenklemmen, Rezeptprogrammierung und Feineinstellventile, die eine präzise Steuerung des gesamten Prozesses ermöglichen, einschließlich Druck, Durchfluss, Temperatur und anderen Größen. Die Datenprotokollierung kann auch durchgeführt werden, um den Prozess zu überwachen, zu überprüfen und zu dokumentieren. AMAT 0010-09416W Reaktor ist mit einem Abgasmanagement- (ESM) -Gasmanagementwerkzeug mit einer kompletten dreistufigen Trockenpumpe ausgestattet. Der ESM wurde entwickelt, um prozessbezogene Kreuzkontaminationen zu reduzieren, eine hervorragende Gaskontrolle zu gewährleisten und die Ausgasung aus der Prozesskammer zu reduzieren. Angewandte Materialien 0010-09416W Reaktor ist in der Lage, dünne Filme für eine Vielzahl von Anwendungen zu produzieren, einschließlich Halbleiter, Photovoltaik, optoelektronische und MEMS-Bauelemente. Die Flexibilität und Präzision des Reaktors ermöglicht die Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit der für mikroelektronische Anwendungen entscheidenden Folieneigenschaften. Der breite Temperaturbereich, der einstellbare Duschkopf und die umfassende Steuerung ermöglichen den Anwendern die Feinabstimmung und Optimierung ihrer eigenen Prozesse, was zu einem höheren Durchsatz und verbesserten Ergebnissen führt.