Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416W #9148699 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416W
ID: 9148699
RF Matching assemblies.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416W ist ein verjüngter Quarzreaktor, der speziell für Rapid Thermal Processing (RTP) Anwendungen entwickelt wurde. Es ist ideal für den Einsatz in der Halbleiterverarbeitung, da es die schnelle Erwärmung und Kühlung von Waferproben ermöglicht. Der Reaktor besteht aus einer Quarzkammer mit zwei gegenüberliegenden Pyramiden, die sich zur Mitte hin nach innen verjüngen. Es enthält auch zwei Flansche, einen oben und einen unten, die den Anschluss einer Vakuumeinrichtung ermöglichen. Die Quarzkammer ist präzise bearbeitet, um sicherzustellen, dass sie luftdicht ist und Temperaturen bis 1000 ° C standhalten kann. Das Quarzmaterial wurde aufgrund seiner hohen thermischen Stoßfestigkeit ausgewählt, um schnelle Heiz- und Kühlzyklen zu ermöglichen. Die Innenwände der Kammer sind ebenfalls mit einem reflektierenden Material beschichtet, das dafür sorgt, dass die innen angeordneten Substrate gleichmäßig erwärmt werden können. Die Wände des Reaktors sind auch so ausgelegt, dass sie eine unabhängige Heizung, Kühlung und atmosphärische Druckregelung ermöglichen. Der obere Flansch des Reaktors weist zwei knöllchendichte, ineinandergreifende Quarzkappen auf. Diese Kappen bieten eine sichere Abdichtung, um während der Verarbeitung das Inertgas oder Reaktionsgemisch im Reaktor zu enthalten. Der Bodenflansch enthält zwei weitere dumet verschlossene Quarzkappen, mit denen der Reaktor an ein externes Vakuumsystem angeschlossen werden kann. Dadurch kann der Vakuumdruck innerhalb der Kammer für optimale Verarbeitungsbedingungen genau geregelt werden. Das gesamte Reaktordesign wurde für einen wiederholbaren, zuverlässigen Betrieb ausgelegt. Es verfügt über eine hocheffiziente Heizeinheit, die dafür sorgt, dass die gesamte Kammer für RTP-Anwendungen schnell die gewünschte Temperatur erreichen kann. Dies hilft, die Bearbeitungszeiten zu beschleunigen und dennoch qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Außerdem verfügt es über eine fortschrittliche Kühlmaschine, die thermische Ausläufer verhindert und sicherstellt, dass Proben gleichmäßig und schnell gekühlt verarbeitet werden. AMAT 0010-09416W konischer Quarzreaktor ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug, das eine schnelle und effektive thermische Verarbeitung ermöglicht. Es ist das perfekte Werkzeug für jeden Labor- oder Industrieprozess, da es Genauigkeit und Wiederholbarkeit in einer Reihe von RTP-Anwendungen gewährleistet.
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