Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #119691 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750 ist ein vielseitiger, hochleistungsfähiger physikalischer Dampfabscheidungsreaktor (PVD), der für fortschrittliche Niedertemperaturprozesse entwickelt wurde. AMAT 0010-09750 ist ein Single-Wafer HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputter) Werkzeug, mit einer flexiblen Plattform ideal für mehrschichtige Abscheidungssequenzen. Das Gerät verwendet eine proprietäre Clusterquellengeometrie und Echtzeit 0-15KW Leistungssteuerung, um hohe Raten und eine gleichmäßige Schichtdicke (UTL) zu erreichen. Das System verfügt über eine Multi-Facing Magnetron Cluster-Quelle mit bis zu fünf unabhängigen Prozesszonen, die verschiedene Operationen wie Einzelzielabscheidung und Dual-Target-E-Beam-Schmelzen ermöglichen. Dies ermöglicht eine Vielzahl unterschiedlicher Plasmasputtertechniken und eignet sich somit für eine breite Palette von Anwendungen wie fortschrittliche Dielektrika und Ultrahochleistungsbeschichtungen. Die 13-Zoll-Ladekammer kann bis zu sechs 6-Zoll-Wafer in einem Lauf aufnehmen und ist mit Solar-, MEM- und LED-Produkten kompatibel. Die fortschrittliche Temperaturkontrolleinheit von APPLIED MATERIALS 0010-09750 ermöglicht eine präzise Regelung der Substrattemperatur und der Prozessparameter. Zwei verschiedene Pumpen (Turbopumpe und zweistufige Trockenpumpe) werden zur Prozesskammerabsaugung und effizienten Grunddruckregelung eingesetzt. Die Maschine arbeitet bei Temperaturen zwischen -90 ° C und + 150 ° C, um verschiedene Prozesszykluszeiten zu ermöglichen. Das Tool verfügt über eine integrierte Lese-/Schreibfunktion zum Erstellen, Ausführen und Ändern von Rezeptoperationen. Spezialisierte Rezepte können einfach gespeichert und abgerufen werden, so dass maximale Flexibilität gewährleistet ist. Der Host-Computer der Benutzeroberfläche gibt dem Bediener die volle Kontrolle über das Asset, wodurch es einfach ist, Prozessparameter zu überwachen und anzupassen. Aktive in-situ Korrosionsanalyse-Software ist als Teil des Modells zur schnellen on-the-fly Analyse zur Verfügung. Das Gerät ist eine ausgezeichnete Wahl für Kunden, die eine schnelle Abscheiderate, eine präzise Steuerung der Prozessparameter und mehrschichtige Abscheidesequenzen benötigen.