Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9005022 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750 Reaktor ist ein vielseitiges und zuverlässiges fortschrittliches Fertigungswerkzeug für Dampfabscheidungsprozesse wie chemische Dampfabscheidung (CVD) und physikalische Dampfabscheidung (PVD). Dieser Reaktor vereint Temperatur, Druck und Zeitsteuerung, um die spezifischen Bedingungen für Prozesse wie Vorstufen, Dotierstoffquellen und katalytische Umsetzung zu erreichen. Es kann bis zu sechs Kassetten-/Bootsladestationen aufnehmen, um Substrate, Tiegel, Quellen oder andere Prozesskomponenten aufzunehmen. Der Reaktor verwendet einen Kammerofen, der in der Lage ist, bis zu einem Temperaturbereich von 25 ° C bis 1000 ° C zu heizen, und der in der Lage ist, Temperaturgleichförmigkeit und Stabilität innerhalb der Kammer zu erreichen. ABB U-Typ HF-Spuleninduktion, hörbarer Gasdurchflussmesser und ein Multi-Way Mass Flow Controller sind in den Kammerofen integriert, um eine maximale Temperaturstabilität zu gewährleisten. Dieser Reaktor erleichtert die Luftregelung in der Kammer mit einer Inertgas- und Spüleinrichtung. Das ABB UV-SiC Modul ist integriert, um eine zusätzliche Prozesssteuerung und Temperaturgleichmäßigkeit zu gewährleisten. AMAT 0010-09750 Reaktor nutzt ein Hochleistungs-Hochvakuumsystem, das in der Lage ist, ein Vakuum bis zu 7x10-7 Torr zu erreichen. Es enthält auch einen hochpräzisen Substratheber, der eine feine Positioniergenauigkeit und Waferfähigkeit ermöglicht. Darüber hinaus kann der Reaktor auch mit verschiedenen Prozessmedien wie Flüssigkeit, Dampf und Gas verbunden sein. Dies wird durch die Integration eines CSA-zugelassenen * Glove Box Insert, eines sphärischen Flansches und einer Chemical Feed Through erreicht, die die ordnungsgemäße Zugabe und Entfernung verschiedener Prozessmedien in den Reaktor ermöglicht. Der Reaktor verfügt auch über eine SPS-programmierbare Steuereinheit, die Prozesskonsistenz und Aufzeichnungsfunktionen bietet. Seine benutzerfreundliche Schnittstellenkonstruktion ermöglicht es dem Benutzer, den Reaktor einfach zu bedienen und zu steuern. Darüber hinaus wird die Wartung des Reaktors durch die Integration eines Vakuumturms und einer Gaskrümmermaschine erleichtert, die Effizienz bei der Aufrechterhaltung eines ordnungsgemäßen Vakuumniveaus für einen effektiven Betrieb bietet. Abschließend ist APPLIED MATERIALS 0010-09750 Reactor ein All-in-One-Reaktor mit modernster Technologie, optimierten Steuerungssystemen und fortschrittlichen Prozessfähigkeiten, der es zu einem idealen und leistungsstarken Werkzeug für fortschrittliche Fertigungsprozesse macht.