Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9026400 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 ist ein hoher Temperaturmehrzonenreaktor der chemischen Dampfabsetzung (CVD), um Materialien für die Halbleitergerätherstellung zu erzeugen. Der Reaktor ist mit mehreren Kammern und Heizelementen ausgelegt, die eine Reihe von Temperaturen und Abscheidungen ermöglichen. Die Kammer besteht aus einem Quarzrohr, das sich innerhalb eines wiedereinfahrenden Rohrofens befindet. Eine Anordnung von externen Widerstandsheizern und eine externe isolierte Abschirmbox umgibt das Quarzrohr. Diese Konstruktion ermöglicht die Erwärmung des Rohres und die Abscheidung verschiedener Materialien. Das Heizelement versorgt das Quarzrohr mit Energie und sein Inhalt wird auf Temperaturen über 1000 ° C erwärmt. Es hat einen Temperaturbereich von 500 - 1100 ° C mit 30 ° C Inkrementen zwischen Punkten. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur innerhalb der Kammer wird durch vier unabhängig gesteuerte Wärmezonen gesteuert, die den Anforderungen verschiedener Abscheideprozesse angepasst werden können. Die Konstruktion ermöglicht auch eine Wasserkühlung des Ofens, um sicherzustellen, dass die thermische Obergrenze des Heizelementes nicht überschritten wird. Die Konstruktion ermöglicht auch die Einleitung von Sauerstoff und/oder Stickstoff sowie eine Reihe von aktivierten Gasen oder Vorläufergasen. Diese können mit gesteuerten Geschwindigkeiten über Massendurchflussregler eingespritzt werden, um den Substraten einen präzisen Fluss zu liefern. Es hat auch die Fähigkeit, eine breite Palette von Gasgemischen für verschiedene Prozesse bereitzustellen. Der Gasstrom wird überwacht, um sicherzustellen, dass die Gleichmäßigkeit in der gesamten Kammer erhalten bleibt. Der Abscheidevorgang wird über eine Computerschnittstelle gesteuert. Es ermöglicht dem Benutzer, die Temperatur, den Druck und den Gasfluss genau und präzise zu steuern. Der Reaktor ist außerdem mit einem in situ Ellipsometer und einem spektroskopischen Ellipsometer ausgestattet. Diese Tools geben den Forschern in Echtzeit Feedback während der Prozessentwicklung. AMAT 0010-09750 ist ein ideales Werkzeug für Forschung und Entwicklung zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es bietet eine präzise Kontrolle der Umgebung und ermöglicht mehrere Arten der Abscheidung, so dass es ein unschätzbares Werkzeug für viele Branchen.