Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9358019 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750 ist ein Prozessreaktor, der sich ideal für Anwendungen der chemischen Dampfabscheidung (CVD) und der schnellen thermischen Verarbeitung (RTP) eignet. Es ist ein großes, rechteckiges Gefäß aus Edelstahl, mit Inertgas gefüllt und mit mehreren Öffnungen ausgestattet, die durch O-Ring-Dichtungen versiegelt sind. Zum Öffnen und Schließen der Öffnungen wird eine axial gelagerte, manuell rotierende Dichtungsanordnung verwendet, während zur Aufrechterhaltung der Kammertemperatur ein Konvektionsofen verwendet wird. Das Schiff besteht aus 304 SS und ist mit einem Durchmesser von 8 „(20 cm) und einer Höhe von 6,5“ (17 cm) und einem Volumen von 1000 Kubikzoll (16 Liter) ausgelegt. Der Behälter ist mit einem Druck von 40 psig (2,75 barg) ausgestattet. Ein innen drehbarer Implantathalter ist axial in der Mitte der Kammer gelagert und kann sechs (6) Wafer bis 4 "Durchmesser tragen. Die Kammer kann mit bis zu drei (3) Prozessgaseinlässen und zwei (2) Abgasen ausgestattet werden, um ein schnelles, dynamisches Prozesszyklen zu ermöglichen. Die Beheizung erfolgt über den oben genannten Konvektionsofen. Dieser Ofen besteht aus 304 SS mit einem Temperaturbereich von 20 ° F-950 ° F (7 ° C-510 ° C). Der Ofen ist PID temperaturgeregelt und hat eine Gleichmäßigkeit von ± 5 ° F (± 2 ° C). Die Heizrate ist programmierbar bis 650 ° F/min (354 ° C/min). Die Kammer ist außerdem mit einem Gebläse mit variabler Drehzahl ausgestattet, der einen konvektiven Luftstrom in der Kammer ermöglicht. AMAT 0010-09750 ist für eine Vielzahl von CVD- und RTP-Anwendungen konzipiert. Mit seiner axial montierten manuellen Drehdichtung, seiner großen Kapazität und der konvektiven Heizung ist er einer der effizientesten verfügbaren Reaktoren. Seine Fähigkeit, Prozessgase schnell zu kreisen, kombiniert mit seiner gleichmäßigen Erwärmung, macht es ideal für hohen Durchsatz und konsistente Ergebnisse. Es ist in der Lage, hohe Abscheideraten bei niedrigen Temperaturen zu erreichen, wodurch Zykluszeiten reduziert werden. Dieser Reaktor eignet sich perfekt für jedes Labor, das ein zuverlässiges, effizientes CVD- oder RTP-System sucht.