Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9410316 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750 ist ein integrierter Plasmaätz-/Reinigungsreaktor, der entwickelt wurde, um einen optimalen Elektronenbefestigungsgrad und einen für Plasmaätzprozesse entscheidenden Gasdurchsatz zu erreichen. Mit diesem System werden Substrate innerhalb der Halbleiterherstellung gereinigt und geätzt. AMAT 0010-09750 ist ein All-in-One-Reaktor, der für eine integrierte Stromversorgungsquelle, Vakuumregelung und Temperaturregelung konzipiert ist und einen stabilen, hochpräzisen Ätzprozess ermöglicht. Es verwendet eine Induktionsspule, um ein konsistentes, hohes Plasma zu erzeugen und aufrechtzuerhalten, indem die in-situ-Elektronenanbindung aufrechterhalten wird. Zusätzlich ist die HF-Leistung der Induktionsspule einstellbar und die das Gefäß bildenden Gasströme können mit einem Massenstromregler abgestimmt/gemessen werden. Die Abmessungen von 0010-09750 messen 28 Zoll breit, 49 Zoll tief und 79 Zoll hoch. Der Reaktor ist in erster Linie aus Edelstahl gefertigt und verfügt über eine flache obere Platte und zwei halbkreisförmige Kammern. Dies ermöglicht das effiziente Abschrecken von Plasma- und Ätzraten. Die Vakuumumgebung der Reaktoren wird durch eine Kombination von mechanischen und turbo-molekularen Pumpen erzeugt und die Kammer wird im Hochvakuum gehalten, was die optimierte Plasmabearbeitung von Substraten ermöglicht. Die Innenkammer von APPLIED MATERIALS 0010-09750 ist mit einem Material beschichtet, das gegen den Ätzprozess beständig ist und das Verkleben von Produkten und dergleichen entlang der Reaktorwände reduziert. Zusätzlich wird der Boden abgeschrägt, um die Nutzung des Kammerraums zu maximieren. Schließlich ermöglicht für die Temperaturregelung ist eine hohe Leistung benutzerdefinierte Wasserkühlung System. Dadurch wird die beim Ätzen erzeugte Wärme drastisch reduziert, so dass 0010-09750 den Ätzprozess auf einer Vielzahl von Substratmaterialien effektiv durchführen kann. Zusammenfassend ist AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750 ein ideales Werkzeug zum Plasmaätzen/Reinigen für die Halbleiterindustrie. Die Kombination aus induktiver Stromquelle und Vakuumsteuerung sowie die Edelstahlkonstruktion und das kundenspezifische Kühlsystem sorgen dafür, dass die Plasmabearbeitung sicher und effektiv ist.