Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750W #9186163 zu verkaufen

ID: 9186163
RF Match CVD.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750W ist ein Reaktor, der speziell entwickelt wurde, um Präzisionstemperaturen und eine breite Palette von Prozessgasströmen zu unterstützen. Es verfügt über die Fähigkeit, Chargen sicher und zuverlässig zu verarbeiten und gleichzeitig hohen Anforderungen an eine hohe Ertragsproduktion und niedrige Betriebskosten gerecht zu werden. Die Konstruktion des Reaktors ist für eine Vielzahl von Prozessen optimiert, einschließlich Abscheidungen, Radierungen und Glühungen. Der Reaktor hat eine große Verarbeitungsfläche mit einem Temperaturbereich von bis zu 1100 ° C und kann Gase wie Stickstoff, Argon, Wasserstoff und Sauerstoff unterstützen. Die Kammer ist aus Edelstahl mit einem Quarz-Viewport für einfache Betrachtung und ist für den einfachen und genauen Zugang zu Probe-Halter-Wafern konzipiert. Die Kammer verfügt zudem über eine interaktive Benutzeroberfläche für eine schnelle und einfache Prozesssteuerung und -überwachung. Die Konstruktion des Reaktors ermöglicht schnelle Bearbeitungszyklen durch seine fortschrittliche thermische Steuerung. Dieses System bietet präzise Prozesstemperaturen mit schnellen Temperaturanstiegs- und Rampenabstiegsraten, wodurch Anwender die Abscheidung und Ätzraten besser kontrollieren können. Darüber hinaus ermöglicht diese Einheit die Verwendung mehrerer Prozessrezepte und Rezepte können schnell und ohne Störung des Produktionsflusses umgestellt werden. Dieser Reaktor ist mit einer automatisierten Wafer-Handhabungsmaschine ausgestattet, die das Probenhandling und die Vorbereitung, das Be- und Entladen vereinfacht. Der Roboterarm ist mit leistungsstarken elektronischen Sensoren ausgestattet, die es ermöglichen, Wafer während des gesamten Prozesszyklus genau zu verfolgen. Darüber hinaus verfügt dieser Reaktor über ein automatisiertes Rezept-Management-Tool, das benutzerdefinierte Rezepte speichert und Rezepte für mehrere Schritte über jeden Produktionslauf verwaltet. Die Kombination von Funktionen und Technologie in diesem Reaktor ermöglicht eine präzise Prozesssteuerung, schnelle Zykluszeiten, niedrige Betriebskosten und Zuverlässigkeit im Betrieb. Mit verbesserter Prozesskontrolle und höheren Ausbeuten eignet sich AMAT 0010-09750W ideal für Ätz- und Abscheidungsanwendungen, die höchste Qualitätsstandards und Wirtschaftlichkeit erfordern.
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