Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-12516 #293656972 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516 ist ein Reaktor zur Dünnschichtabscheidung. Es ist ein Single-Wafer-Prober mit Prozesskammer und einziehbarem Roboterarm-Modul montiert. Es hat einen oberen und unteren Abschnitt und ermöglicht einen vertikalen Prozesstransport. Der obere Abschnitt umfasst eine Quarzprozesskammer mit eingebauten Hubstiften für die Waferunterstützung, Gasflusssteuerungen, HEPA-Filtration, In-situ-Reinigungsanordnungen und Gasversorgungsventile. Der untere Abschnitt besteht aus einem einziehbaren Roboterarm-Modul, das Prozessscheiben während des Abscheideprozesses unterstützt. Die Prozesskammer hat ein großes 256mm-Fenster, das aus Aluminiumoxidquarz aufgebaut ist. Dieses Fenster ermöglicht eine Sichtprüfung der Probe während der Verarbeitung. Die Prozesskammer bietet auch einen drehzahlverstellbaren Rollenantrieb, der Anwendungen mit hohen und niedrigen Partikeln unterstützt. Zusätzlich enthält die Kammer einen Wafer-Hubstift und eine Heizungsanordnung für präzises Wafer-Handling und wiederholbaren thermischen Prozess. Der Roboterarm unterstützt Wafer von der Prozesskammer zum Probenmodul und zurück. Der obere Abschnitt des Roboterarms ist mit einer Probenahmeeinheit ausgestattet, die speziell für den AMAT-Reaktor 0010-12516 entwickelt wurde. Diese Baugruppe hilft bei der genauen Positionierung und Drehung der Waferproben. Die Baugruppe ist mit einer integrierten Heizung zur thermischen Steuerung ausgestattet. APPLIED MATERIALS 0010-12516 ist ein sehr vielseitiger Reaktor und kann für verschiedene Anwendungen wie CVD, PECVD, RIE, ALD, APCVD und MOCVD verwendet werden. Mit seinem robusten Design und seinen Leistungsmerkmalen ist es eine ausgezeichnete Wahl für Prozessoptimierung und signifikante Qualitätsverbesserungen. Darüber hinaus ist 0010-12516 in der Lage, eine Vielzahl von Prozessen zu handhaben, von Niedertemperaturmaterialien bis hin zu Hochtemperatursupraleitern. AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516 bietet mit seinem automatisierten Probentransportverfahren, dem integrierten Probenhalter, der Temperaturregelung und der einstellbaren Heizungskonfiguration eine große Vielseitigkeit. Dank der intuitiven grafischen Benutzeroberfläche ist es auch einfach zu bedienen. Darüber hinaus bietet es zusätzliche Flexibilität mit seinen mehreren Gaseinlässen, Gasspülung und Abgas. AMAT 0010-12516 kann eingesetzt werden, um bei Dünnschichtabscheidungsprozessen wie CVD und ALD hervorragende Ergebnisse zu erzielen.