Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-13321W #293658052 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-13321W ist ein ultrakompakter Prozessreaktor für Anwendungen wie Oxidatomschichtabscheidung, Nitrid-Atomschichtabscheidung und andere Dünnschichtabscheidungsprozesse. Dieser Reaktor ist in der Lage, Schichten ultradünner, ultrahoher Reinheit und gleichmäßiger Materialien auf einem Substrat abzuscheiden. AMAT 0010-13321W ist aus hochwertigem Edelstahl gefertigt, wodurch es korrosionsbeständig und leicht zu reinigen ist. Seine Kammern sind für eine gleichmäßige Temperatur und gleichmäßige Gasförderung während des gesamten Prozesses ausgelegt. Zur Maximierung der Abscheideeffizienz können Prozesstemperaturen auf eine Genauigkeit von 0,1 ° C gesteuert werden. Der Reaktor kann durch einen externen Regler betrieben werden, der eine Flexibilität der Bedienung ermöglicht. Die Magnetronquelle dieses Reaktors macht es ideal für die Abscheidung von Schichten aus Oxiden und Nitriden. Die Magnetronquelle sorgt für eine gleichmäßige Abscheidung der Materialbeschichtung auf dem Substrat. Es verfügt auch über ein Quarzboot, das maximal 1,6 Gramm Material aufnehmen kann, um sicherzustellen, dass das Material gleichmäßig über das Substrat verteilt ist. Die Konstruktion dieser Systeme ermöglicht eine einfache Wartung mit austauschbaren Komponenten wie Quarzboot, Magnetronquelle und oberer Elektrode, die alle über eine Wartungstür zur routinemäßigen Wartung und Fehlerbehebung zugänglich sind. Die Reaktionskammer ist mit einer einstellbaren Gaszufuhr ausgestattet, die die Einleitung von Vorläufergasen zur Abscheidung ermöglicht. Auch dieser Gaseinlaß ist mit einem Gaswäschefilter ausgestattet, der überschüssige Verunreinigungen aus dem Reaktionsraum herausfiltern kann. Die Kammer weist außerdem eine rückseitige Vakuumarmatur auf, die Reaktionsbyprodukte einfängt, die verhindert, dass sie wieder in den Reaktor gelangen und den Abscheidungsprozess beeinflussen. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS 0010-13321W ein hochleistungsfähiger, ultrakompakter Prozessreaktor, der für die Abscheidung ultradünner, ultrahoher Reinheit und hochgleichmäßiger Materialschichten ausgelegt ist. Seine langlebige Konstruktion und hochpräzise Steuerung machen es gut für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet und liefert zuverlässige und konsistente Ergebnisse.