Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-16893 / 0195-01037 #293666362 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-16893 / 0195-01037
ID: 293666362
Wafergröße: 12"
Ceramic heater, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-16893 / 0195-01037 ist ein CVD-Reaktor, der zur Abscheidung von Dünnschichtmaterialien verwendet wird. Der Reaktor ist ideal für die Herstellung hochleistungsfähiger Dünnschichtprodukte wie Halbleiter, Optoelektronik, Display, Glas und Keramik. Es hat eine 200 mm vertikale Konstruktion, die eine geteilte Kassette aufweist, die eine gleichzeitige Beladung von Substraten von oben und unten ermöglicht. Durch die Verwendung eines geteilten Kassettendesigns bietet der Reaktor ein erhöhtes Volumen, das eine gleichzeitige Behandlung mehrerer Substrate in einem Zyklus ermöglicht und Zykluszeit und -kosten reduziert. Der Reaktor verfügt zudem über eine Niedrigwinkel-Magnetfeld-Technologie, die nachweislich eine ausgezeichnete Plasmagleichförmigkeit und eine verringerte Partikelverschmutzung über den gesamten Wafer liefert. Das Niederwinkel-Magnetfeld hilft auch, die Gleichmäßigkeit der Folien zu verbessern und die Anzahl der Defekte zu reduzieren, die durch auf dem Wafer abgeschiedene Partikel verursacht werden. Darüber hinaus verfügt AMAT 0010-16893 / 0195-01037 über eine Einkammer-Konstruktion, die für einen langfristigen und zuverlässigen Betrieb ausgelegt ist. Die Kammer ist mit einer Mehrzonenheizung ausgestattet, die ein gleichmäßiges Temperaturprofil für eine präzise Temperaturregelung bietet. Dieses Merkmal ermöglicht eine hervorragende Reproduzierbarkeit der Materialabscheidung. Die Kammer umfasst auch ein automatisiertes Umgebungsgasfördersystem, das einen kontrollierten Arbeitsablauf und eine hervorragende Prozesssteuerung ermöglicht. Darüber hinaus umfasst die Kammer ein patentiertes Plasmaquellendesign, das hilft, elektrische Entladungsgeräusche zu unterdrücken und eine stabile Plasmaproduktion zu gewährleisten. Der Reaktor bietet auch Mehrpunkt-Druckregelung für eine genaue Prozesssteuerung. Darüber hinaus ist der Reaktor mit einer Hochleistungsalarmeinheit ausgestattet, die den Reaktor überwacht, um Sicherheit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Die Alarmmaschine bietet auch eine zusätzliche Automatisierungsschicht durch ihre Fähigkeit, mit externen Verarbeitungssystemen zu kommunizieren. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS 0010-16893 / 0195-01037 ein fortschrittlicher CVD-Reaktor für die Herstellung von Hochleistungs-Dünnschichtprodukten. Es bietet ein vertikales 200-mm-Design mit einer geteilten Kassette und Niederwinkel-Magnetfeld-Technologie, die eine schnelle Waferbearbeitung ohne Verlust an Gleichmäßigkeit oder Partikelverschmutzung ermöglicht. Darüber hinaus bietet der Reaktor ausgezeichnete Temperaturstabilität, präzise Prozesssteuerung und fortschrittliche Sicherheitsalarmsysteme, um eine zuverlässige Produktionsumgebung zu gewährleisten.
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