Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-17798 #9112022 zu verkaufen

ID: 9112022
Wafergröße: 12"
Degas Heater, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-17798 ist ein Reaktor, der nach den Prinzipien der chemischen Dampfabscheidung (CVD) arbeitet. Es wird verwendet, um dünne Schichten von Materialien und Folien zu erzeugen. CVD ist eine Technik, bei der gasförmige Vorläufer in einer Reaktorkammer eingeführt werden und dann zu einem Feststoff auf dem Substrat reagieren. AMAT 0010-17798 wurde mit spezifischen Eigenschaften entwickelt, um es für eine Vielzahl von CVD-Prozessen geeignet zu machen. Die Ausbildung des Reaktors besteht aus einer nachfüllbaren Kammer, einem Prozeßbehälter und einem Auspuff. Die nachfüllbare Kammer enthält die gasförmigen Vorläufer, während der Prozesstank das Substratmaterial enthält. Die Gase und das Substratmaterial reagieren chemisch im Prozesstank. Der Auspuff lässt die Nebenprodukte der CVD-Reaktion aus dem System austreten. Die Substratkammer ist für die Funktion unter hohen Temperaturen ausgelegt. Es wird durch eine ferrokeramische Auskleidung isoliert, um thermische Verluste zu reduzieren und das Gefäß vor Oxidation zu schützen. Die nachfüllbare Kammer ist versiegelt, um das Risiko eines Austritts von giftigen Chemikalien zu minimieren, und sie kann je nach Prozessanforderungen mit einer Vielzahl von Chemikalien gefüllt werden. Der Reaktor weist auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen auf. Das System ist mit einem ausfallsicheren Gerät und einem Notabschalter ausgestattet. Das ausfallsichere Gerät wird aktiviert, wenn eine Unterbrechung des Prozesses auftritt und der Notschalter kann zum manuellen Abschalten des Systems verwendet werden. Diese Merkmale verhindern Prozessausfälle oder Sicherheitsrisiken. Der Reaktor weist eine hohe Flexibilität auf und kann für verschiedenste CVD-Prozesse eingesetzt werden. Es kann für Verfahren wie Niedertemperaturabscheidung, Plasmalösungen und naßchemische Prozesse verwendet werden. Dies macht es zu einem vielseitigen und effizienten Werkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen. Insgesamt ist der APPLIED MATERIALS 0010-17798 Reaktor ein wesentliches Werkzeug für CVD-Prozesse. Es ist gut konstruiert, zuverlässig und einfach zu bedienen, so dass es ein ideales Werkzeug für eine Vielzahl von CVD-Prozessen.
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