Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-23716 #293810759 zu verkaufen

ID: 293810759
Assembly.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-23716 Reaktor ist eine anspruchsvolle Ausrüstung für die Herstellung von Halbleiter- und Metallwerkstoffen, die in der Elektronikindustrie verwendet werden. Es ist ein Ultra-High-Vakuum-System entwickelt, um Vakuumniveaus so niedrig wie 10-7 Torr zu schaffen, ermöglicht die Abscheidung von ultradünnen Filmen. Es besteht aus einer Mehrkammereinheit mit einer 6-Zoll-Reaktionskammer, drei 15-Zoll-Kammeröffnungen, mehreren Prozessgasen, 13-Megawatt Heizungen und verschiedenen Stromversorgungen und Messgeräten. Diese Maschine ist in der Lage, Temperaturen von Raumtemperatur bis 250 ° C zu verarbeiten, was eine Vielzahl von Abscheidungsmethoden ermöglicht. Die Reaktionskammer besteht aus Edelstahl und wird durch eine 13 MW Baugruppe beheizt, wodurch eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der gesamten Kammer entsteht. Ein Hochdruckgaseinspritzwerkzeug sorgt für eine gleichmäßige Gasverteilung und wird sowohl für Ätz- als auch Abscheideprozesse eingesetzt. Die Pro-Prozess-Rate ist variabel und einstellbar, was die Abscheidung komplexer Strukturen über einen weiten Temperaturbereich ermöglicht. Die drei 15-Zoll-Kammeranschlüsse ermöglichen die Einführung zusätzlicher Gas- und Prozesskomponenten in die Umgebung. Zu diesen Komponenten gehören fensterlose Leuchtventile, Waferorientierungsgeräte und Mikroskope für die In-situ-Inspektion. Die Umgebung innerhalb der Reaktionskammer ist atomar sauber, wodurch das Risiko einer Kontamination während eines beliebigen Prozessschritts verringert wird. Der Reaktor umfasst auch zwei Allzweck-Netzteile, eine hocheffiziente programmierbare Stromversorgung und zusätzliche Leistungskomponenten zur Steuerung und Manipulation der verschiedenen Prozessgase und Temperaturen. Die im Reaktor installierten Messgeräte überwachen mehrere Prozessparameter wie Druck, Temperatur und Gaszusammensetzung und ermöglichen sowohl Echtzeit- als auch Nachbearbeitungsanalysen. AMAT 0010-23716 Reaktor ist ein wichtiges Werkzeug für die Halbleiterindustrie. Es bietet ein hohes Maß an Prozesskontrolle und Genauigkeit bei gleichzeitig ausgezeichneter Vakuumleistung. Seine Vielseitigkeit und robuste Konstruktion machen es zu einer hervorragenden Lösung für viele Dünnschichtherstellungsanwendungen und machen es zu einem wertvollen Gerät für die Industrie.
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