Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-27430 #293799036 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27430 ist ein mehrzoniger Niederdruck-Chemikaliendampfreaktor (LPCVD). Der Reaktor verwendet ein in situ Vier-Zonen-Heißwandbrennersystem, um Dünnschichtabscheidungsschichten aus Polysilizium, Siliziumnitrid und Siliziumoxidmaterialien zu erzeugen. Der Reaktor bietet eine überlegene Gleichmäßigkeit und Dickenkontrolle aufgrund seiner mehreren Zonen und Hochtemperaturgenauigkeit. Der Reaktor besteht aus einer zentralen Vakuumkammer, die mit vier symmetrisch ausgerichteten Bearbeitungszonen ausgestattet ist. Jede Zone besteht aus einem keramischen Wärmetauscher, Stützstäben und einer Prozesskammer. Der keramische Wärmetauscher enthält eine inerte Atmosphäre aus Wasserstoff und Stickstoff MFC zur präzisen Temperaturregelung über alle Zonen. Die Stützstangen tragen die Prozesskammer, die aus einem inneren Bearbeitungsrohr und einem äußeren Quarzrohr besteht. Das Quarzrohr wird außen erwärmt und dient auch zur Überwachung und Regelung der Temperatur des Innenrohres. Der Reaktor enthält auch eine Reihe weiterer Komponenten, wie Reaktionsinjektoren und Massenstromregler. Mit den Injektoren werden die für den LPCVD-Abscheidungsprozess benötigten Gase eingespritzt. Die Massenstromregler dienen zur Überwachung und Einstellung der Strömungsgeschwindigkeiten der verschiedenen Gase sowie der Temperaturen aller Zonen. Der Reaktor enthält außerdem ein Niederdruckmessgerät, eine Inertgasspüleinheit und eine Gasdiffusionsplatte. Der Reaktor verwendet Hochdruckwasserstoff und Stickstoff, um die Oxidation zu begrenzen und eine bessere Materialqualität zu gewährleisten. Es verwendet auch einen automatisierten Rohrreinigungsprozess, der den Bedarf an ständiger manueller Reinigung und Wartung des Reaktors reduziert. Zusätzlich wird die Temperaturgenauigkeit durch eine Reihe von Temperatursensoren im gesamten Reaktor bereitgestellt. Der Reaktor ist für die Abscheidung von Halbleiterfilmen mit präziser Dicke und Gleichmäßigkeit ausgelegt. Es ist zudem sehr zuverlässig und kann bis zu 50 Prozent Reduktion von Materialabfällen bieten. Der Reaktor wurde auch entworfen, um den Eingriff des Bedieners zu minimieren und die Wiederholbarkeit und gleichbleibende Produktionsqualität zu gewährleisten. Der Reaktor kann zur Herstellung von Logikgeräten, Speichergeräten und anderen hochpräzisen und strengen Komponenten für verschiedenste Branchen eingesetzt werden.