Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-27983 #293724910 zu verkaufen

ID: 293724910
MCA E-Chuck.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27983 ist ein reaktiver Ionenätzreaktor (RIE) für Halbleiterherstellungsanwendungen. Der Reaktor nutzt vier unterschiedliche Kammerabschnitte. Ein oberer Abschnitt, der eine Gasleitung enthält, versorgt die Reaktionskammer mit Reaktionsmaterialien. Ein unterer Abschnitt enthält eine Vakuumkrümmer/Pumpe Ausrüstung für Kammer Evakuierung und Wartung. Die Reaktionskammer ist abgedichtet und mit Inertgasquellen versehen, die eine Kontrolle der Umgebung bei Ätzprozessen ermöglichen und somit ein präzises Ätzen des Materials gewährleisten. Der RIE-Reaktor AMAT 0010-27983 hat einen Kammertemperaturbereich von 50-400 Grad Celsius und kann eine Vielzahl von Wafergrößen und -formen aufnehmen. Die Netzteile von DC bis RF können präzise eingestellt werden, um präzise Ätzergebnisse für eine Vielzahl von Materialien zu erzielen. Reaktive Gase können über die Gasleitung mit entsprechenden Strömungsreglern zur Regelung von Gasmix und Druck in den Reaktionsraum eingeleitet werden. Darüber hinaus verfügt das System über eine automatisierte Wafer-Handhabungseinheit, die mit einem Roboterarm gekoppelt ist und ein automatisches Be- und Entladen der Wafer aus der Reaktionskammer ermöglicht. Um die Ätzgenauigkeit weiter zu verbessern, bietet die Maschine zusätzliche Anpassungsmöglichkeiten wie Robotertragstrukturen, Abschirmung und einstellbare Regalpositionen für eine optimale Wafer-Nachverfolgung. ANWENDUNGSMATERIALIEN 0010-27983 RIE Reaktor bietet auch einen modularen Aufbau, ermöglicht eine einfache Integration in bestehende Systeme, sowie die Erweiterung der Produktionskapazität. Um eine optimale Prozessleistung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten, wird der Reaktor 0010-27983 werkseitig mit zertifizierten ISO 9000-konformen Qualitätsstandards geprüft. Darüber hinaus wurde das Tool entwickelt, um Upgrades und Upgrades zu akzeptieren, die erweiterte Kammergröße, erhöhte Sicherheitsstufen, verbesserte Prozessströme und verbesserte Temperaturstabilität bieten. Insgesamt ist der AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27983 RIE Reaktor ein ideales Werkzeug zum effizienten und präzisen Ätzen von Halbleitermaterialien. Es ist mit mehreren spezialisierten Funktionen entworfen, einschließlich automatisiertes Wafer-Handling, einstellbare Regalpositionen und Abschirmungen und modulares Design, das optimale Prozessleistung gewährleistet. Darüber hinaus wird die Anlage gründlich geprüft und qualitätskontrolliert, um Zuverlässigkeit und Sicherheit zu gewährleisten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor