Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30094 #293658018 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30094 Reaktor ist ein hocheffizientes und vielseitiges Werkzeug für die Abscheidung von dünnen Schichten auf Substraten. Dieser Reaktor ist ein Metall-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) -Gerät, das chemische Reaktionen verwendet, um Materialschichten auf einem Substrat zu erzeugen und abzuscheiden. Der Reaktor besteht aus einem Mehrkammersystem mit mehreren Konfigurationsmöglichkeiten, was eine größere Flexibilität beim Beschichten von Substraten ermöglicht. Der Kern des Reaktors ist eine Abscheidekammer, die das Substrat zur Beschichtung aufnimmt. Diese Kammer ist mit mehreren Heizquellen ausgestattet, einschließlich Lampenheizung, Quarzheizung und warme und kalte Wände, um die Temperatur des Substrats genau zu verwalten. Zusätzlich ist die Kammer mit einer Energieversorgungseinheit gekoppelt, die die zur Erzeugung der die dünnen Filme bildenden chemischen Reaktionen erforderliche elektrische Leistung aufbringt. Die Grenzfläche zwischen der Abscheidekammer und der Außenumgebung ist eine Vakuumübertragungskammer. Diese Kammer ist mit einer mechanischen Verstärkerpumpe und einer kryogenen Kühlmaschine ausgestattet, um den gewünschten Vakuumdruck und Temperaturbereich zu halten. Die Transferkammer ermöglicht auch die automatisierte Bewegung des Substrats von der Abscheidekammer in die äußere Umgebung zur Kühlung und Prüfung. Der Reaktor ist so konzipiert, dass er mit einer Vielzahl von Substratmaterialien wie Glas, Keramik und Metallen arbeitet. Es kann auch große Substrate handhaben, bis zu 450mm in der Größe. Es ist in der Lage, dicke Schichten aus mehreren Zielmaterialien gleichzeitig, bis zu 10 nm dick für jede Schicht abzuscheiden. Die Abscheiderate ist variabel und kann entsprechend der gewünschten Schichtdicke eingestellt werden. Darüber hinaus wurde dieser Reaktor speziell für den ultrareinen Betrieb entwickelt, um Filme mit gleichmäßigen Substraten und niedrigen Verschmutzungen abzuscheiden. AMAT 0010-30094 Reaktor ist ein ausgezeichnetes Werkzeug für Abscheideprozesse, bietet hochpräzise Kontrolle und Vielseitigkeit. Es ist in der Lage, dünne Filme für eine Vielzahl von Dünnschichtanwendungen wie optische Beschichtungen, Halbleiter und Optoelektronik mit großer Genauigkeit und Effizienz herzustellen. Die mehrfachen Heizsysteme, das Stromversorgungswerkzeug und die Vakuumsteuerungsfunktionen machen es sehr zuverlässig und benutzerfreundlich.
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