Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686 #119697 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686 Reactor ist ein fortschrittliches CVD (Chemical Vapor Deposition) -Werkzeug, das einen kompletten thermischen CVD-Prozess zur Entwicklung von Beschichtungen und Mikrostrukturen bietet. Das Gerät ist auf einer modularen Plattform aufgebaut, die es Forschern ermöglicht, Lösungen zu entwerfen, um ihre anspruchsvollsten Prozessanforderungen zu erfüllen. AMAT 0010-30686 Reactor bietet eine breite Palette von Prozessfähigkeiten, einschließlich Standardprozesstemperaturen von Raumtemperatur bis 1000C und Prozessdrücken von 10-200 mTorr. Dieses System ist ideal für Forschungsanwendungen, die hoch kontrollierte thermische CVD-Prozesse und/oder sehr hohe Temperaturen erfordern. ANWENDUNGSMATERIALIEN 0010-30686 Der Reaktor umfasst einen achteckigen Zweizonenreaktorofen für die Einwafer- oder Chargenverarbeitung sowie einen Gasverteiler für bis zu acht Prozessgase. On-Board-Prozessüberwachungsgeräte sorgen für wiederholbare, zuverlässige Prozesse vom Run bis zum Run. Darüber hinaus ermöglicht die Echtzeit-Steuerung von Prozessparametern dem Anwender die Optimierung des Abscheideprozesses für bestimmte Ziele, wie Foliendicke und Folieneinheitlichkeit. Die Kammer von 0010-30686 Reaktor ist aus 95% Aluminiumoxid gebaut, so dass es ideal für die Kompatibilität mit einer breiten Palette von Prozess Atmosphären und Chemie. Die Kammer enthält auch einen 3-Kilowatt HF-Generator, der verwendet wird, um das für einige Prozesse benötigte energetische Plasma zu liefern. Die vom HF-Generator erzeugte Strahlungswärme kann zur Erzielung der höchsten Abscheidungstemperaturen oder zur Aufrechterhaltung eines isothermen Prozesses verwendet werden, je nach den Anforderungen des Endanwenders. Sicherheits- und Wartungsfunktionen setzen AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686 Reaktor abgesehen von anderen Systemen, mit Funktionen wie einem Frontlader-Wafer-Shuttle und einer Prozess-Offload-Einheit, um Be- und Entladezeiten zu reduzieren und die Betriebssicherheit zu verbessern. Der Reaktor verfügt über eine integrierte Wartungsmaschine und eine umfassende Datenerfassungsfunktion zur Verfolgung von Prozessereignissen. Schließlich kann das Werkzeug aus der Ferne mit einer Tastatur von der Steuerungskonsole hoch- und heruntergefahren werden. AMAT 0010-30686 Reaktor ist ein leistungsstarkes und vielseitiges CVD-Werkzeug für Hochtemperatur- und/oder Hochtextur-Verfahrenstechnik und R & D. Die modulare Plattform dieses Asset ermöglicht ein flexibles und intuitives Endbenutzer-Setup, so dass es auf eine Vielzahl von Prozessen mit unterschiedlichen Verarbeitungsatmosphären und Chemien zugeschnitten werden kann. Forschungsanwendungen, die auf kreative Verfahrenstechnik angewiesen sind, können von der Präzisionssteuerung, den robusten Sicherheitsmerkmalen und der wiederholbaren Leistung dieses fortschrittlichen thermochemisch gesteuerten Reaktors profitieren.