Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686 #293635611 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686 ist eine Single Wafer Batch Chemical Vapor Deposition (CVD) -Ausrüstung, die auf Prozessflexibilität und höchstmögliche Prozessleistung ausgelegt ist. Diese Reaktorstruktur besteht aus Edelstahl und ist für den Einsatz mit korrosiven Materialien gasdicht. Dieses System ermöglicht die Abscheidung von Folien auf Substraten mit gleichmäßiger Höhe und perfekt glatten Substratoberflächen bei hoher Abscheidegeschwindigkeit und hoher Temperatur. Die Einheit ist eine Kassettenkonstruktion mit Zugang zu Prozess- und Lastverriegelungskammern. Die Prozeßkammer bietet eine Zweizonenkonfiguration für Standard-Epitaxie- und fortgeschrittene Prozeßchemie und eine Dreizonenkonfiguration für Spezialprozeßchemie. Die Lastschloßkammer verfügt über eine Mehrzweck-In-situ-Verarbeitungskammer und über mehrere Anschlüsse für Prozessgase, Pumpen und anderes Zubehör. Der Reaktor AMAT 0010-30686 enthält einen Gaskasten zur Unterbringung der Gasförder- und -überwachungssysteme. Dieser Gaskasten ist temperaturgeregelt und beinhaltet Partikelfiltration, Druck und Strömungssteuerung. Es enthält auch einen Gasmischkrümmer mit elektronischer Strömungssteuerung und Druckaufnehmern. Die Maschine verfügt über alle Elektronik-Automatisierungen, Algorithmen und fortschrittliche Software-Technologie. Es unterstützt Hochgeschwindigkeitsätz- und Abscheidungsrezepte mit bis zu sieben Gasen sowie Mehrkammer-Fähigkeiten. Zu den Merkmalen gehören ein integrierter Kühler für thermische Gleichmäßigkeit, integrierte Lastportunterstützung für maximierte Oberbadbeladung, Mehrzonenprozesssteuerung mit Quad-Zone-Wandsteuerung und automatische Rezeptoptimierung. In Bezug auf Sicherheit und Zuverlässigkeit verfügt dieses Tool über Alarmanlagen, Sicherheitsverriegelungen, Spannungsverriegelungen und Prozessüberwachungssysteme, um einen sicheren und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Darüber hinaus ist der Reaktor für einen geringen Energieverbrauch und einen effizienten Betrieb ausgelegt. Diese Anlage hat auch einen modularen Aufbau für einfache Wartung und Service. Insgesamt ist der APPLIED MATERIALS 0010-30686 Reaktor ein zuverlässiges und effizientes Modell für die Herstellung hochwertiger Folien. Die fortschrittlichen Prozesschemien, Mehrzonenprozesse, das temperaturgeregelte Design von Gaskästen, Sicherheitsverriegelungen und Alarme sowie die optimierte Rezepturautomatisierung machen es zu einer idealen Ausrüstung für das Abscheiden von Folien auf Substraten mit Gleichmäßigkeit und überlegener Oberflächenglätte.