Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162 #180798 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162 ist ein Hochtemperatur-CVD-CVD-Reaktor, der verwendet wird, um eine Vielzahl von dünnen Schichten, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden, abzuscheiden. Es ist speziell für Materialien wie amorphes Silizium, Polysilizium und andere Sortenfolien konzipiert. Die Solid-State-Prozesssteuerungsfunktionen und die fortschrittliche Prozesssteuerungsarchitektur bieten eine überlegene Messtechnik-Kontrolle und Ertragsleistung. Der geringe Platzbedarf und der begrenzte Ressourcenbedarf verleihen dieses Tool Labors mit begrenztem Platzbedarf. AMAT 0010-36162 verwendet eine Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Technologie, die die Verunreinigungen, die Gasphasenwachstumsrate und Filme höherer Qualität reduziert, um die zur Herstellung von Halbleitern benötigten Filme abzuscheiden. Der ECR wird von einer linearen HF-Ausrüstung angetrieben, die 4-8 GHz, 450 W Prozessleistung liefert. Dieses System ist ideal für eine robuste Abscheidekontrolle und Gleichmäßigkeit. Die CVD-Reaktoreinheit kann bis zu 1250 ° C arbeiten und eignet sich perfekt zum Abscheiden von Folien wie GaN oder SiC mit hoher Qualität und Gleichmäßigkeit. Die Maschine verfügt auch über zahlreiche Sicherheitsmerkmale, die die Abscheidefolie vor der Ruinierung schützen, darunter Mehrzonenkühlung, ein gasbasiertes Sicherheitswerkzeug, Rückseitenkühlung und eingebaute Diagnostik. APPLIED MATERIALS 0010-36162 bietet eine einzigartige Reihe von Funktionen, um eine höhere Produktivität, einheitlichere Filme, wiederholbare Filme und eine verbesserte Prozesskontrolle zu erreichen. Die Kammergröße kann mit einem 2 "-Waferroboter ausgestattet werden, um die Dichte und den Durchsatz zu erhöhen. Die zusätzlichen Werkzeugmöglichkeiten sind kompatibel mit der CVD-Kammer und sind so konzipiert, dass keine manuelle Handhabung erforderlich ist. Diese Optionen verbessern auch Ausbeute und Durchsatz durch verbesserte Gleichmäßigkeit. 0010-36162 ist in der Lage, Temperatur und Druck zu kontrollieren, was für die Prozess- und Einheitlichkeitskontrolle von entscheidender Bedeutung ist. Die einstellbare Stromversorgung erleichtert die Steuerung der Abscheiderate und hält eine konstante Temperatur im CVD-Reaktor aufrecht. Das Schnellwechselmodul für Prozessgase verleiht den Anwendern eine einzigartige Flexibilitätsschicht und erleichtert den Wechsel von einem Prozess zum anderen. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162 ein leistungsstarker, robuster und flexibler CVD-Reaktor, der Anwendern das Beste in Bezug auf Prozesskontrolle und Ertragsleistung bietet. Die erweiterten Funktionen und Fähigkeiten der Anlage machen es zu einer idealen Ergänzung für jede Laborumgebung.