Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162 #9026413 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162 ist eine komplette Niederdruck-chemische Dampfabscheidung (LPCVD), die speziell für die Herstellung von dünnen Schichten in großem Maßstab entwickelt wurde. Das System besteht aus sechs Komponenten - einem Ofen, einer Gassteuerung, einem Regler, einer Vakuumkammer, einer Fördereinheit und einem Vakuumspeicher. Jede Komponente arbeitet zusammen, um eine präzise Steuerung der Prozessparameter zu ermöglichen, wodurch die Maschine Kosten senken, die Erträge verbessern und den Durchsatz erhöhen kann. Der Ofen ist die primäre Temperaturregeleinheit des Werkzeugs und liefert ein einheitliches Temperaturprofil für LPCVD-Prozesse. Es ist für hohe Temperaturen ausgelegt und kann zur Abscheidung von Siliziumoxid-, Nitrid- und Silizium-Germanium-Folien verwendet werden. Die Gassteuereinheit ist darauf ausgelegt, Gasströme bei vorgegebenen Temperaturen genau zu mischen und zu koregulieren. Eine präzise Steuerung der Prozessgase wird durch eine Kombination von Massenstromreglern und mechanischen Ventilen erreicht. Die Steuerung ist eine rechnergesteuerte digitale Logiksteuerung, die den Betrieb von Asset-Komponenten koordiniert. Der Controller überwacht und misst Prozessparameter und wird verwendet, um Rezepte zu programmieren, die Betriebsleistung zu überwachen und Prozesszeiten und Produktqualität zu steuern. Die Vakuumkammer ist eine kundenspezifische Aluminiumkammer mit einer Edelstahlauskleidung. Es wurde entwickelt, um eine Ultrahochvakuumumgebung für den Abscheidungsprozess bereitzustellen. Das Liefermodell ist ein flexibles Hochdruckgerät, das für die Abgabe von Prozessgasen mit bis zu 14 bar ausgelegt ist und eine erhöhte Ausbeute bei verringerter Verarbeitungszeit ermöglicht. Es verfügt über ein Hochdruck-Gas-On-Demand-System, das bei Bedarf automatisch Prozessgase fördert. Der Vakuumspeicher soll den Bedarf an groben Pumpen in der Verarbeitungskammer reduzieren. Das Gerät soll die Zykluszeit der Maschine reduzieren und die Prozesssicherheit verbessern. Insgesamt ist das AMAT 0010-36162 LPCVD-Tool ein vollautomatisches, leistungsstarkes Asset, das für die Großproduktion von Dünnschichten konzipiert wurde. Seine Komponenten sind in ein kompaktes Modell integriert, das eine präzise Steuerung der Prozessparameter ermöglicht, den Durchsatz erhöht, Kosten senkt und die Produktqualität verbessert.