Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162R #9075360 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162R ist ein Reaktortyp, der in der fortschrittlichen Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist ein Versalinx Ätzreaktor, ein trockenes Dampfätzsystem, das einzigartig für AMAT ist. Das System ist für den Einsatz in der Aluminium- und Siliziumätzung sowohl für Front-End als auch für Back-End IC und MEMS Anwendungen konzipiert. Dieses spezifische Modell des Versalinx ist mit einer elektrischen Vorspannung ausgestattet und kann eine Reihe von Ätzchemien aufnehmen, was es sehr vielseitig macht. AMAT 0010-36162R kann Funktionen zwischen 20 Nanometern und 1 Mikrometer in Aluminium und Silizium mit ausgezeichneter Tiefenkontrolle ätzen. Das Teilsystem liefert hohe Materialabtragsraten, Präzisionsätzergebnisse und ausgezeichnete Oberflächenqualität aufgrund seiner zuverlässigen Prozesssteuerungsfähigkeit im Subsystem. Es ist in der Lage, Einzel- oder Mehrschicht-Ätzen, so dass Geräte Feature-Größen von weniger als 20 Nanometer. Die Einrichtung des Ätzprozesses ist einfach zu konfigurieren. Die Versalinx-Komponenten sind servomotorisch angetrieben und somit hochpräzise. Der Druck und die Temperatur sind einstellbar, ebenso die Vorspannung und Leistung. Zusätzlich kann die maximale Leistung eingestellt und das elektrische Feld gerichtet werden, wodurch die Ätzraten aus verschiedenen Proben übereinstimmen. Die Fähigkeit, das Setup für eine Vielzahl von Ätzchemien anzupassen, macht dies zu einer idealen Wahl für tiefe Siliziumätzprozesse sowie kritische 1x und 2x Waferätzung. Der Versalinx Ätzreaktor eignet sich perfekt für die Verarbeitung von Chips mit präzisen symmetrischen Mustern. Seine hohe Ätzrate und ausgezeichnete Tiefenkontrolle machen es auch ideal für Wolframätzen sowie andere kritische Nachabscheidungsprozesse. Es ist auch in der Lage, eine Reihe von Materialien zu handhaben, wie Metalle wie Aluminium und Titan. Das System verwendet ein Lastschloß zur gleichmäßigen Evakuierung der Kammer und weist einen Kantenwulstschienenregler für den Probenort auf. Zusammen tragen die Funktionen zu einem hohen Gesamtdurchsatz und einer hervorragenden Kontrolle des Ätzprozesses bei. Abschließend ist APPLIED MATERIALS 0010-36162R ein Top-of-the-Line-Ätzreaktor, der sich für eine Vielzahl von Ätzanwendungen eignet. Es verfügt über hervorragende Materialentfernung und Tiefenkontrollfunktionen und ist für verschiedene Ätzchemien in hohem Maße anpassbar. Es kann Funktionen bis zu Größen unter 20 Nanometer ätzen, so dass tiefe Siliziumätzung sowie Wolframätzen für Nachabscheidungsprozesse. Mit seinem robusten Design, seiner zuverlässigen Teilsystemprozesssteuerung und seinem ausgezeichneten Durchsatz ist es eine ideale Wahl für die fortschrittliche Halbleiterherstellung.