Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162W #293620937 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162W Reactor ist ein leistungsstarkes Hochdurchsatzwerkzeug zur Durchführung chemischer und materialverarbeitender Operationen wie chemische Dampfabscheidung, Ätzen und Oberflächenmodifizierung. Der Reaktor ist eine modifizierte hocheffiziente, niedertemperatur-, Gleichstrom (DC) -driven Plasma-verbesserte Ausrüstung, die für den Einsatz mit Standard-Gleichstromversorgungen konzipiert ist. Seine Polysilizium-Auskleidungen machen es ideal für die Abscheidung von Metallen, Polymeren und anderen dielektrischen Materialien in der Halbleiterindustrie. AMAT 0010-36162W Reaktor verfügt über eine erweiterbare, hochpräzise lineare Bewegungsbasis und zwei bodengestützte strömungsdynamische Anodenschieber für eine sichere Bewegung in beide Richtungen. Der Reaktor ist vollständig hermetisch abgedichtet, wodurch der Aufbau von Verunreinigungen verhindert und präzise chemische Reaktionen ermöglicht werden. Die Einheit verfügt über eine geschlossene Kammer mit einem Dampfversorgungssystem, das eine präzise Dampfabgabe und eine überlegene Verdampfungssteuerung ermöglicht. Das Kammerdesign umfasst eine fortschrittliche gasdynamische Abschirmung, die eine Temperaturschichtung eliminiert und eine präzise chemische Temperaturregelung ermöglicht. Eine integrale Abscheidematrix ermöglicht eine präzise Positionierung der Targets an der Substratschnittstelle, während die Vier-Zonen-Thermoprofil-Steuerung ein zuverlässiges thermisches Management gewährleistet. Die steuerbare Gasmaschine 0010-36162W Reaktors nutzt bis zu sechs individuell programmierbare Gaseingänge, wodurch mehrere Gasreaktionen und eine präzise chemische Steuerung möglich sind. Das Gerät ist außerdem mit einem Flugzeit-Massenspektrometer (TOF MS) und einer Ionenpumpe ausgestattet, um flüchtige Oxidationsprozesse zu erleichtern und die direkte Detektion und Steuerung von Reaktionsprodukten zu ermöglichen. Erweiterbare Prozessmodule sind verfügbar, die zusätzliche Abscheidefunktionen und einen erhöhten Materialdurchsatz ermöglichen. 0010-36162W Reaktor ist sehr zuverlässig, mit überlegener Kontrolle und wiederholbarer Leistung auch unter härtesten Betriebsbedingungen. Das Werkzeug ist vollständig skalierbar und konfigurierbar, um eine breite Palette von Substratgrößen, Materialien und Prozessen unterzubringen und maximale Flexibilität zu ermöglichen. Seine präzise, lineare Bewegungsmontage sorgt auch für überlegene Wiederholbarkeit und stabile Schichtkonsistenz, und seine integrierte Diagnose-Asset kann Operatoren auf alle Probleme warnen, die auftreten können. Die modernste Technologie und das innovative Design machen es zu einem idealen Werkzeug für anspruchsvollste chemische Reaktions- und Halbleiteroperationen.
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