Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9026414 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408 ist ein fortschrittlicher Plasmaätzreaktor, der für die Herstellung mikroelektronischer Bauelemente entwickelt wurde. Es wird zur Aufnahme und Aufrechterhaltung einer Ultrahochvakuumumgebung eingesetzt, in der ein optisch erzeugtes Plasma zum Ätzen und Mustern einer Substratoberfläche verwendet wird. Der Reaktor besteht aus einer zylindrischen Kammer mit einer flachen Metallplatte an ihrem Boden. Es verfügt über eine Innenwand, die gegenüber reaktiven Gasen korrosionsbeständig ist, und einen Faraday-Käfig zur Abschirmung des Plasmas vor äußeren elektrischen Feldern oder magnetischen Geräuschen. Durch die obere Platte wird eine mehrstufige Kathodenanordnung in die Kammer eingesetzt, die als Entladungsquelle dient und die durch das Plasma erzeugten Elektronen sammelt. Die Kathodenanordnung ist mit einer Stromversorgung verbunden und kann bis zu 30kV eine Lichtbogenentladung zwischen Kathode und Anode (metallische Platte) erzeugen. AMAT 0010-36408 verfügt auch über eine komplette Reihe von optionalem Zubehör, um seine Leistung zu erhöhen, wie Ätzmasken, Pumpanschlussisolatoren und einen digitalen Auslesegas-Druckregler. Ein in der Vakuumkammer befindliches elektrisches Heizelement dient zur Erwärmung der Reaktorkomponenten, zur Förderung gleichmäßiger Reaktionstemperaturen und zur Verbesserung der Plasmastabilität. Der Reaktor ist außerdem mit einem Sichtfenster zur Überwachung des Ätzvorgangs ausgestattet. Schließlich wird APPLIED MATERIALS 0010-36408 werkseitig auf hohe Standards kalibriert, um zuverlässige und konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Seine robuste und langlebige Konstruktion ermöglicht es ihm, zuverlässig in einer Vielzahl von verschiedenen Betriebsumgebungen zu arbeiten. Dieser fortschrittliche Reaktor ist die perfekte Wahl für das hochpräzise Ätzen und Strukturieren von Substraten in der Halbleiterindustrie.
Es liegen noch keine Bewertungen vor