Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9177196 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408
ID: 9177196
RF Match DPS.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408 ist ein induktiv gekoppelter Plasma- (ICP) Reaktor, der in verschiedenen Hardwareanwendungen wie der Halbleiterbauelementverarbeitung verwendet wird. Dieses particulare Modell wird aufgrund seines modularen Aufbaus geschätzt und ermöglicht die Anpassung seiner internen Komponenten an die Bedürfnisse einer bestimmten Anwendung. Es funktioniert, indem es ein thermisches Plasma erzeugt, das anhaltende HF-Leistung nutzt, um chemische Elemente zu zerlegen, die dann in eine Reaktionskammer injiziert werden können. Dieses Verfahren ermöglicht die Oberflächenmodifizierung und Reinigung von Materialien auf mikroskopischer Ebene. AMAT 0010-36408 arbeitet mit der Erzeugung eines achsensymmetrischen thermischen Plasmas in der Reaktionskammer durch Anlegen einer hochfrequenten (bis zu 70-MHz) Hochfrequenzquelle. Die Hochfrequenzquelle induziert einen Strom in der Reaktionskammer, der die im Inneren vorhandenen Gaspartikel anregt. Diese Anregungsenergie bewirkt, daß die Gaspartikel vor dem Einspritzen in die Reaktionskammer die Temperatur erhöhen und entweder ionisieren oder dissoziieren. Das Verfahren ist aufgrund der Effizienz der HF-Quelle sehr effizient und ermöglicht eine gezielte und kontrollierte Abscheidung von Materialien auf der Oberfläche eines Wafers. Die Reaktionskammer von APPLIED MATERIALS 0010-36408 hat ein abnehmbares Verdeck, das einen einfachen Zugang bei Anpassungen ermöglicht. Innerhalb der Kammer ist eine einstellbare Quellendichtefunktion vorhanden, die die Einstellung der Intensität der HF-Quelle bei gleichzeitiger Einstellung von Temperatur und Druck des Plasmas ermöglicht. Dadurch kann der Anwender die Abscheidegeschwindigkeit des Testmaterials auf den Wafer genau steuern. Darüber hinaus können durch die Steuerung der Betriebsparameter Sicherheitseinschränkungen festgelegt werden, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. 0010-36408 verfügt zudem über eine integrierte Ionenquelle, die dem System zusätzliche Stabilität bietet. Die Ionenquelle versorgt die Reaktionskammer mit ionisiertem Argongas, das die Plasmaverteilung stabilisiert und eine längere Lebensdauer der Komponenten in der Reaktionskammer ermöglicht. Darüber hinaus hilft es, die Menge an Wärmeenergie im Prozess verloren zu reduzieren, um sicherzustellen, dass der Prozess effizienter ist. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408 ein zuverlässiger, vielseitiger und effizienter ICP-Reaktor, der als wesentliche Komponente für viele Hardwareanwendungen gilt. Die hoch einstellbare HF-Quelle macht sie für präzise Oberflächennutzungsaufgaben geeignet, während die integrierte Ionenquelle hilft, die Lebensdauer ihrer Komponenten zu verlängern und einen effizienten Betrieb zu gewährleisten.
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